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Compact-Objektiv lose digitale holografische Mikroskop für MEMS-Inspektion und Charakterisierung
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Compact-Objektiv lose digitale holografische Mikroskop für MEMS-Inspektion und Charakterisierung

Article DOI: 10.3791/53630-v • 10:28 min • July 5th, 2016
July 5th, 2016 •
1, 1, 1, 2, 1,2
1School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering, Nanyang Technological University, 2d'Optron Pte Ltd

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Riepilogo
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Wir präsentieren eine kompakte Reflexion digitale holografische System (CDHM) zur Inspektion und Charakterisierung von MEMS-Bauelementen. Ein linsenloses Design einen divergierenden Eingangswelle bietet natürliche geometrische Vergrößerung verwendet wird demonstriert. Sowohl statische als auch dynamische Studien vorgestellt.

Tags

Technik Heft 113 Digitale Holografie-Bildgebungssystem quantitative Phasenmessung Mikroskopie zerstörungsfreie Prüfung MEMS
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