概要

バイオマーカー検出のための電解質依存性グラフェン電界効果トランジスタの開発と機能化

Published: February 01, 2022
doi:

概要

本プロトコルは、電解質依存性グラフェン電界効果トランジスタ(EGGFET)バイオセンサの開発と、バイオマーカー免疫グロブリンG(IgG)検出への応用を実証するものである。

Abstract

現在の研究では、グラフェンおよびその誘導体が調査され、エレクトロニクス、センシング、エネルギー貯蔵、および光触媒を含む多くの用途に使用されている。高品質、良好な均一性、および低欠陥グラフェンの合成および製造は、高性能および高感度デバイスにとって重要である。多くの合成方法の中で、グラフェンを製造するための主要なアプローチと考えられている化学気相成長法(CVD)は、グラフェン層の数を制御し、高品質のグラフェンを収めることができる。CVDグラフェンは、それが成長した金属基板から絶縁性基板上に転写され、実用的な用途のために必要とされる。しかし、新しい基板へのグラフェンの分離および転写は、グラフェンの構造および特性を損傷または影響することなく均一な層にとって困難である。さらに、電解質依存性グラフェン電界効果トランジスタ(EGGFET)は、その高感度と標準的なデバイス構成のために、様々な生体分子検出におけるその幅広い用途のために実証されている。本稿では、ポリ(メチルメタクリレート)(PMMA)支援グラフェン転写アプローチ、グラフェン電界効果トランジスタ(GFET)の作製、バイオマーカー免疫グロブリンG(IgG)検出について紹介する。転写されたグラフェンを特徴付けるために、ラマン分光法および原子間力顕微鏡法を適用した。この方法は、エレクトロニクスまたはバイオセンシングアプリケーション用の絶縁基板上に基礎となるグラフェン格子を維持しながら、クリーンで残留物のないグラフェンを転写するための実用的なアプローチであることが示されている。

Introduction

グラフェンおよびその誘導体は、エレクトロニクス1,2、センシング3,4,5エネルギー貯蔵6,7、および光触媒1,6,8を含む多くの用途に調査され、使用されている。高品質、良好な均一性、および低欠陥グラフェンの合成および製造は、高性能および高感度デバイスにとって重要である。2009年の化学気相成長(CVD)の開発以来、それは巨大な約束を示し、グラフェンファミリー910、111213の不可欠なメンバーとしてその場所を設定しました。これは、金属基板上に成長し、後に実用化のために、絶縁性基板14上に転写される。CVDグラフェンを転写するために、いくつかの転写方法が最近使用されている。ポリ(メチルメタクリレート)(PMMA)支援法は、異なる技術の中で最も使用されている。この方法は、その大規模な能力、低コスト、および転写グラフェン1415の高品質のために工業的使用に特に適している。この方法の重要な側面は、CVDグラフェンの用途のためにPMMA残基を取り除くことであり、残留物はグラフェン14,15,16の電子特性の偏角を引き起こし、バイオセンサの感度および性能に影響を与え、17,18、およびデバイス間の著しい変動を引き起こす可能性がある19

ナノ材料ベースのバイオセンサは、シリコンナノワイヤ(SiNW)、カーボンナノチューブ(CNT)、グラフェン20など、過去数十年にわたって大幅に研究されてきました。グラフェンは、その単原子層構造と独特の特性により、優れた電子特性、良好な生体適合性、容易な機能化を示し、バイオセンサ14、212223の開発に魅力的な材料となっている。高感度、標準構成、費用対効果の高い大量生産性などの電界効果トランジスタ(FET)特性21,24により、FETは他のエレクトロニクスベースのバイオセンシングデバイスよりもポータブルおよびポイントオブケア実装においてより好ましい。電解質依存性グラフェン電界効果トランジスタ(EGGFET)バイオセンサは、述べられたFET2124の例である。EGGFETは、核酸25、タンパク質24、26、代謝産物27、および他の生物学的に関連する分析物28などの様々な標的化分析物を検出することができる。ここで言及される技術は、他のバイオセンシングデバイス29よりも高感度かつ正確な時間検出を提供するラベルフリーのバイオセンシングナノエレクトロニクスデバイスにおけるCVDグラフェンの実装を保証する。

この研究では、CVDグラフェンを絶縁基板、ラマンに転写すること、および転写されたグラフェンのAFM特性評価を含む、EGGFETバイオセンサを開発し、バイオマーカー検出のためにそれを機能化するための全体的なプロセスを実証する。さらに、EGGFETの作製およびポリジメチルシロキサン(PDMS)サンプル送達ウェルとの統合、生体受容体機能化、およびスパイクおよび回収実験による血清からのヒト免疫グロブリンG(IgG)の検出の成功もここで議論される。

Protocol

1. グラフェンの化学気相成長の移送 銅基板上のグラフェンシートをハサミで半分(2.5 cm x 5 cm)に切ります。耐熱テープを貼り、グラフェン四角の四隅をスピナーガスケットに固定します( 材料表参照)。注:購入したグラフェンの寸法は5cm x 5cmです( 材料表を参照)。 グラフェンのシートを、PMMA 495K A4の薄層(100〜200nm)でスピンコートし、500rpm…

Representative Results

代表的な結果は、それぞれラマンおよびAFMによって特徴付けられる転写されたCVDグラフェンを示す。ラマン画像のGピークおよび2Dピークは、転写された単層グラフェン32の存在および品質に関する包括的な情報を与える(図1)。標準的なリソグラフィープロセス30、31は、図2に示すようにG…

Discussion

銅膜上の購入したCVDグラフェンは、次の製造ステップのために適切なサイズにトリミングする必要があります。フィルムの切断はしわを引き起こす可能性があり、これは防止する必要があります。製造工程で提供されるパラメータは、グラフェンのプラズマエッチングのために参照することができ、これらの数値は、異なる機器を使用する場合に変化させることができる。エッチングされた?…

開示

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

実験はウェストバージニア大学で行われました。我々は、デバイス製造及び材料特性評価のためのウェストバージニア大学の共有研究施設を認識する。この研究は、米国国立科学財団の助成金Noの下で支援されました。NSF1916894。

Materials

1-pyreneutyric acid N- hydroxysuccinimide ester Sigma Aldrich 457078-1G functionalization
Asylum MFP-3D Atomic Force Microscope Oxford Instruments graphene characterization
AZ 300 MIF MicroChemicals AZ 300 MIF photoresist developer
AZ 300 MIF MicroChemicals AZ 300 MIF photoresist
Bovine Serum Albumin Sigma Aldrich 810014 blocking
Branson 1210 Sonicator SONITEK sample cleaning
Copper Etchant Sigma Aldrich 667528-500ML removing copper film to release graphene
Dimethyl Sulfoxide (DMSO) VWR 97063-136 functionalization
Disposable Biopsy Punches, Integra Miltex VWR 21909-144 create well in PDMS
Gold etchant Gold Etch, TFA, Transene 658148 enchant
Graphene Graphene supermarket 2" x 2" sheet biosensing element of the device
IgG aptamer Base Pair Biotechnologies customized bioreceptor
Keithley 4200A-SCS Parameter Analyzer Tektronix measurement and detection
KMG CR-6 KMG chemicals 64216 Chromium etchant
Kurt J. Lesker E-beam Evaporator Kurt J. Lesker metal deposition
Laurell Technologies 400 Spinners Laurell Technologies WS-400BZ-6NPP/LITE thin film coating
March PX-250 Plasma Asher March Instruments sample cleaning
Nickel etchant Nickel Etchant, TFB, Transene 600016000 etchant
OAI Flood Exposure OAI photolithography
Phosphate Buffered Saline (PBS) Sigma Aldrich 806552-500ML buffer
PMMA 495K A4 MicroChemicals PMMA 495K A4 Photoresist for assisting graphene transferring
Polydimethylsiloxane (PDMS) Sigma Aldrich Sylgard 184 sample delivery well
Renishaw InVia Raman Microscope Renishaw graphene characterization
Sodium Hydroxide (NaOH) Sigma Aldrich 221465-25G functionalization
Suss Microtech MA6 Mask Aligner Suss MicroTec photolithography
Thermo Scientific Cimarec Hotplate Thermo Scientific SP131635 sample and device Baking

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記事を引用
Ishraq, S., Sun, J., Liu, Y. Development and Functionalization of Electrolyte-Gated Graphene Field-Effect Transistor for Biomarker Detection. J. Vis. Exp. (180), e63393, doi:10.3791/63393 (2022).

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