인라인 적외선 테르모그래피를 통한 컨베이어 벨트 용광로의 시투 표면 온도 측정

인라인 로에서 처리되는 물체의 온도를 측정하는 것이 중요하기 때문에 열전대에서 고전적인 온도 측정에 대한 유망한 대안으로 인라인 서모그래피를 제시합니다. 열전대는 물체를 손상시키고, 온도를 로컬로 측정하며, 생산 중단이 필요합니다. 그러나 당사의 인라인 더서그래피 카메라는 비접촉식, 실시간 공간 적으로 해결된 방식으로 물체 온도를 측정합니다.

우리는 실리콘 태양 전지의 접촉 발사를 위해 인라인 로를 사용합니다. 따라서, 우리는 이러한 장점을 조사하기 위해 우리의 용광로에 서모그래피 카메라 인라인을 설치했습니다. 관심 있는 온도 범위에 대한 관심 있는 물체의 파장 범위와 일치하는 감지 파장 범위가 있는 카메라를 선택합니다.

용광로 챔버 외부에 카메라를 설치하려면 광학 경로가 있는 위치에서 용광로 벽을 제거하고 광학 경로에서 적외선 램프와 같은 방해 물체를 피하십시오. 카메라의 검출 파장 범위에 대해 가능한 한 투명하면서 용광로 챔버를 열로 격리하는 창으로 구멍을 닫습니다. 그런 다음 카메라가 움직이는 벨트에 시각적 개체가 있도록 카메라를 창문 위에 놓습니다.

카메라의 검출 파장 범위에서 방사선을 방출하거나 반사하는 근처의 물체를 피함으로써 카메라의 기생 방사선 감지를 최대한 피하십시오. 그런 다음 적외선 카메라 소프트웨어를 통해 thermography 이미지를 검사하여 카메라의 결과 시야를 확인합니다. 실리콘 태양 전지에 대한 고객 온도 보정을 위해 먼저 태양 전지를 현지 광학 유물로 확인하십시오.

온도 보정은 열전대를 기반으로 하여 열전대 유효성을 확인하고, 웨이퍼의 후면 알루미늄 측에 열전대를 장착하고, 표준 발사 공정에 대한 시간 온도 프로파일을 측정한다. 시간 온도 프로파일이 알루미늄 실리콘 연동 온도 577도에서 평평한 곡선의 형태로 중단을 표시하면 열전대는 교정가능성이 가장 높습니다. 태양 전지의 후면에 장착된 검증된 열전대로 써모커플 측정을 수행하고 적외선 카메라로 웨이퍼를 기록합니다.

동일한 물체 지점에서 관심 온도 범위와 공간적으로 다양한 임의 물체 지점에서 다중 열전대 측정을 수행하여 통계적으로 유의한 시간 온도 프로파일을 얻습니다. 열전대 하에서 국소가 교정되지 않은 전지 온도를 결정하기 위해 열전대의 위치에서 국소 온도를 추출한다. 교정되지 않은 적외선 서모그래피를 통해 결정된 온도에 대해 열전대를 통해 측정된 온도를 기록하고, 교정되지 않은 서모그래피 이미지에 대한 일반적인 균일한 글로벌 보정 공식으로서 곡선 을 획득한다.

그런 다음 이 곡선 맞춤 데이터를 사용하여 전 세계적으로 수정되지 않은 thermography 이미지를 수정합니다. 2차원 피크 온도 분포 맵을 만들려면 적절한 프로그래밍 언어로 스크립트를 작성하여 전체 카메라 시야를 따라 각 오브젝트의 표면 스팟에 대한 표면 온도를 추적하여 모든 웨이퍼 스팟에 동시에 배치된 가상 열전대 역할을 합니다. 그런 다음 각 지점에 대한 피크 온도 값을 추출하고 해당 2D 분포 맵에서 이러한 온도를 플롯합니다.

처리량 방향으로 평균 온도 분포를 수행하기 위해 처리량 방향에 수직인 치수의 2D 온도 분포를 평균합니다. 처리량 방향에 수직으로 평균 온도 분포를 수행하기 위해 처리량 방향으로 치수의 2D 온도 분포를 평균합니다. 이 그림에서 설명한 바와 같이, 이 실리콘 태양전지의 보정 된 온도는 다른 구성에서 적외선 카메라에 의해 명확하게 감지 될 수있다.

단면 금속화, 양면 금속화 및 비금속 특전 샘플. 이러한 분석에서, 관심의 온도 범위는 발사 공정의 전형적인 피크 온도 범위와 유사. 이 이미지에서 관찰된 바와 같이, 태양 전지의 후면에 접촉하는 열전대는 열 방출 및 차광으로 인해 자체적으로 온도 가을을 발생시킵니다.

후자의 낙하는 열전대에 의해 접촉될 때 프레임에 위치되는 이 세포에 관해서는 열전대에 의해 측정된 온도에 비해 열전대없이 발사하는 동안 세포 온도를 추정하는 데 중요합니다. 벨트에 직접 배치하면 적외선 카메라를 통해 컨베이어 벨트에 의해 셀의 로컬 열 방출을 관찰할 수 있습니다. 이 이미지는 대표적인 2차원 공간 태양전지 피크 온도 분포를 나타내며, 수송 방향에 수직으로 추론된 평균 분포를 나타낸다.

실리콘 태양전지의 접촉 발사를 위해 인라인 로를 사용함에 따라 혁신적인 더서모그래피 애플리케이션을 만들기 위해 적외선 카메라를 용광로에 설치했습니다. 발사 과정에서 공간적으로 해결된 피크 온도 분포를 확보하면 발사에 의해 현저히 영향을 받는 공간적으로 해결된 태양전지 파라미터에 대한 온도 분포 상관관계를 조사할 수 있습니다.