Синтез и характеристика высокого C-оси ZnO тонкой пленки по плазмостимулированного химического осаждения системы и ее УФ фотодетектор приложение

Мы предложили метод прямого синтеза тонкой пленки ZnO с высокой осью c (0002) путем плазменного химического осаждения из газовой фазы. Синтезированная тонкая пленка ZnO в сочетании с межпальцевым электродом Pt была использована в качестве чувствительного слоя для ультрафиолетового фотодетектора, продемонстрировав высокую производительность благодаря сочетанию хорошей чувствительности и надежности.