Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal Engineering
Click here for the English version

Engineering

הגישה של צעד אחד בדיית Polydimethylsiloxane Microfluidic אפיקי מקטעים גיאומטריים שונים בתהליכים רציפים איכול רטוב

Published: September 13, 2018 doi: 10.3791/57868
Automatic Translation
1,2, 1, 1, 1,3
1Research Center for Applied Sciences, Academia Sinica, 2Department of Civil Engineering, Tamkang University, 3College of Engineering, Chang Gung University

Summary

מספר שיטות זמינות עבור הזיוף של ערוצי סעיפים מלבני מוטמע במכשירים microfluidic polydimethylsiloxane. רובם לערב רב שלבי הייצור ויישור נרחב. בנייר זה, גישה חד-שלבית הוא דיווח עבור בדיית microfluidic ערוצים של חתכי רוחב גיאומטריות שונות על ידי איכול רטוב רציפים polydimethylsiloxane.

Abstract

Polydimethylsiloxane (PDMS) חומרים מנוצלים באופן משמעותי כדי לבדות microfluidic התקנים באמצעות טכניקות דפוס משוכפל ליתוגרפיה רך. עיצובים פריסה מותאמת אישית ערוץ נחוצים עבור פונקציות ספציפיות וביצועים משולבת של microfluidic התקנים ביישומים רבים ביו כימיים (למשל, תרבית תאים biosensing, סינתזה, טיפול בנוזלים). בשל אופיו של שהמודעות גישות באמצעות סיליקון עם שכבות photoresist בדוגמת מאת פוטוליתוגרפיה בתור תבניות בסיס, הערוצים microfluidic יש בדרך כלל קבוע חתכי רוחב של צורות מלבניות עם גבהים זהים. בדרך כלל, ערוצי עם גבהים או מקטעים גיאומטריים שונים מרובים מיועדים בעל פונקציות מסוים וכדי לבצע ביישומים microfluidic שונים (למשל, hydrophoresis משמש לצורך מיון החלקיקים, זורם רציפה על הפרדת תאי דם6,7,8,9). לכן, כמות גדולה של מאמץ הפך לבניית ערוצים עם מקטעים שונים דרך שלבים מרובים גישות כמו פוטוליתוגרפיה באמצעות מספר שכבות photoresist והרכבה של PDMS שונים דק גליונות. ובכל זאת, גישות מרובות-צעד כזה כרוך בדרך כלל הליכים מייגע ומכשור נרחב. יתר על כן, המכשירים מפוברק עלולים שלא לפעול באופן עקבי, המידע מהניסוי הביא עשויה להיות בלתי צפוי. כאן, גישה חד-שלבית מפותחת על הזיוף פשוטה של microfluidic ערוצים עם חתכי רוחב גיאומטריות שונות באמצעות תהליכי רציפים איכול רטוב PDMS, אשר מציגה את etchant לתוך ערוצי הפריסות בשכבה יחידה המתוכנן מוטבע בחומרים PDMS. בהשוואה לשיטות הקיימות לייצור PDMS microfluidic לערוצי בגיאומטריות שונות, הגישה מפותחות בשלב אחד יכול באופן משמעותי לפשט את התהליך כדי לבדות ערוצים עם מקטעים מלבני או בגבהים שונים. כתוצאה מכך, הטכניקה היא דרך בניית ערוצי microfluidic מורכבים, אשר מספק פתרון ייצור לקידום מערכות חדשניות microfluidic.

Introduction

טכניקות Microfluidic יש לב נמשך במהלך העשורים האחרונים בגלל יתרונם מהותי עבור מגוון רחב של מחקר ביו-רפואי ויישומים. קיימות מספר אפשרויות בחומרים לבניית microfluidic צ'יפס בימינו, כגון פולימרים, קרמיקה וחומרים סיליקון. לפי מיטב ידיעתנו, בין החומרים microfluidic, PDMS היא האחת הנפוצה ביותר בשל תכונותיו גשמי המתאים עבור מיקרופלואידיקה מחקר ויישומים שונים, כולל שלה compatibilities אופטי וביולוגית עם חלקיקים, נוזלים, ואת היצורים החיים קטן מאוד1,2,3,4,5. יתר על כן, השטח כימית, מבנה תכונות מכניות של חומרים PDMS יכול להיות מותאם כדי להקל על מחקרים microelectromechanical mechanobiological על-ידי החלת כזה מבוסס פולימר microfluidic התקנים10, 11,12. בנוגע לייצור מכשירים microfluidic עם דפוסי ערוץ מעוצב, הדפס אבן רכה משוכפל לכייר שיטות חלים בדרך כלל כדי ליצור את ערוצי microfluidic על-ידי ניצול שלהם בתבניות הבסיס המתאים אשר מורכבים של פוטוליתוגרפיה בדוגמת photoresist שכבות וסיליקון וופל סובסטרטים12. בשל אופיו של שהמודעות גישות באמצעות סיליקון עם שכבות photoresist בדוגמת, הערוצים microfluidic יש בדרך כלל קבוע חתכי רוחב של צורות מלבניות עם גבהים זהים.

לאחרונה, החוקרים עשו התקדמות משמעותית מחקרים ביו שעניינן, למשל, מיון החלקיקים, תאים באמצעות hydrophoresis, הפרדת פלזמה, העשרת כדוריות הדם על-ידי החלת microfluidic צ'יפס עם ערוצים של בגבהים שונים או מקטעים גיאומטריים6,7,8,9. כזה מיון של הפרדת הפונקציות של מיקרופלואידיקה ביו יישומים הם הבינו על-ידי התאמה אישית של ערוצים עם מקטעים גיאומטריים שונים. מספר מחקרים יש הוקדש לייצור microfluidic ערוצים עם חתכי רוחב של תכונות גיאומטריה אחרת על-ידי בדיית תבניות בסיס עם דפוסים מסוימים משטח של הגולן או מלבני חתכי רוחב שונים. מחקרים אלה על ייצור תבנית כוללים טכניקות אלה פוטוליתוגרפיה רב שלבי, photoresist ' הזרמה מחדש ', וכן סרגל אפור ליתוגרפיה13,14,15. באופן בלתי נמנע, טכניקות קיימים לערב photomasks מבנה דק או יישור מדויק בתהליכי ייצור רב שלבי, אשר עשוי לשפר באופן משמעותי את רמות המורכבות הזיוף המקביל של ערוצי microfluidic. עד כה, נעשו מספר נסיונות על תהליכי הייצור צעד אחר צעד עבור ערוצי microfluidic סעיפים שונים, אך הטכניקות המתאימות מוגבלים מאוד ספציפי צורות חתך הרוחב של ערוצי16.

במהלך שני העשורים האחרונים, בנוסף הגישות לכייר עבור בדיית PDMS ערוצי microfluidic עם מקטעים שונים, תצריב, שיטות, עבור תכנים PDMS ערוצים עם תכונות גיאומטריות הפכו הזיוף של בחירה במגוון microfluidic יישומים. למשל, מנוצלת לרעה איכול רטוב PDMS יחד עם PDMS רב-שכבתית מליטה לבניית מכשיר התרבות תאים מופעלים פנאומטית פנאומטיים של מיקרופלואידיקה עם פונקציות ריאות איברים ברמת משוקם17. רטובה PDMS תצריב טכניקה הוא מועסק יחד עם הליהוק PDMS על microwells גלילי במכונה על ידי מערכות בקרה ממוחשב עבור בדיית 3D PDMS microneedle מערכים18. תחריט יבש PDMS משמש כדי להפוך PDMS מזערים כחלקים של מיקרו-אלקטרו מפעילים19,20. ממברנות PDMS נקבובי עם פריסות נקבובית מעוצב גם המציא דרך תהליכים איכול יבש21. את רטובה וגם את הטכניקות איכול יבש ניתן לשלב תכנים PDMS סרטים עם צורות גיאומטריות המיועד22.

עם זאת, טכניקות חריטה להרכיב PDMS ערוץ מבנים עם מורכבות מקטע צורות לא הוחלו בדרך כלל בשל מגבלותיהם מהותי על ייצור microfluidic. ראשית, ואילו הטכניקות של איכול רטוב PDMS ניצול שכבתית תזרימי של כימיקלים ליצירת ערוצי microfluidic סעיפים שונים הוקמו, ערוץ עוקבות סעיף היווצרות הוא עדיין מוגבל בגלל המאפיינים הבסיסיים של צריבה כימית איזוטרופיות תהליכים23. יתר על כן, למרות שנראה שיש רווח סביר לשליטה על גיאומטריות סעיף ערוץ ביציר דמיונו מיקרופלואידיקה שימוש בסאונה היבשה PDMS תצריב טכניקות20, תחריט נדרש הזמן הוא בדרך כלל ארוך מדי (מבחינת שעות) להיות מעשי לייצור שבבי microfluidic. בנוסף, את מידת הבררנות איכול בין חומרים PDMS המסיכה המתאימה photoresist שכבות עשוי להיות נמוך באופן כללי, ואינם למעמקים חרוט הביא הערוצים, לפיכך, מקובל20.

בנייר זה, אנו מפתחים גישה חד-שלבית כדי לבדות microfluidic ערוצים של חתכי רוחב גיאומטריות שונות בתהליכים רציפים איכול רטוב PDMS (ןלהל SWEP). SWEP להתחיל עם מכשיר microfluidic PDMS לערוצי בשכבה יחידה. עם פריסה מגוון עיצובים של הערוצים, בדיית ערוצי microfluidic עם מקטעים גיאומטריים שונים מסוגים שונים יכולה להיות מושגת באמצעות תהליכים איכול רציפים. החריטה רציפים צריך רק etchant של להיות מוחדרים ערוצים ספציפיים הפריסות בשכבה יחידה המתוכנן מוטבע בחומרים PDMS. בהשוואה לתהליכים פבריקציה נוספת המקובלת של PDMS, SWEP רק דורשים צעד אחד נוסף כדי לבדות ערוצי microfluidic סעיפים מלבני או גבהים שונים. SWEP המוצע לספק דרך פשוטה ופשוט של בדיית ערוצי microfluidic עם מקטעים שונים לאורך כיוון הזרימה, אשר באופן משמעותי ניתן לפשט את התהליכים השיטות דלעיל.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Protocol

1. ייצור של Microfluidic התקנים עם שכבה אחת ערוץ פריסות

הערה: במאמר זה, ליתוגרפיה רך שיטה3 הוא מאומץ עבור בדיית microfluidic התקנים עשוי מחומרים PDMS, כדי להדגים כיצד לייצר ערוצי עם מקטעים שונים.

  1. יצירה של בסיס ליציקות שכבה PDMS עם תכונות טופולוגיה מעוצב
    1. עיצוב ערוץ פריסות בשכבה PDMS עבור יחיד התחריט או חריטה ברצף.
    2. סקיצה התכונות הפוך טופולוגיה של השכבה PDMS מעוצב בעזרת תוכנת ציור בעזרת מחשב.
    3. להעביר את הקובץ סקיצה למתקן פוטוליתוגרפיה להשיג photomask בדוגמת עם התכונות טופולוגיה הפוכה דיוק גבוהה אחת מהפריסות ערוץ מודפס על שקיפות24.
    4. אלכוהול איזופרופיל שימוש (2-פרופנול (IPA), ≥ 99.9%), אצטון (Propan-2-אחד, ≥ 99.5%) ו תחמוצת במאגר לחרוט (BOE NH4F:HF (וי/v) = 6:1) של משטחי סיליקון 4 אינץ רקיק מסיר אבק או תמלוגים ולהימנע מציג.
    5. השתמש בערך 500 מ ל מים יונים לשטוף את פרוסות סיליקון פוליש הסופי, ולאחר מכן החל גז חנקן יבש כשהפחד שטופים.
    6. במקום של photoresist בטון שלילי של-20 גרם על לחם הקודש. ואז ספין מעיל כשהפחד ב 500 סל ד עבור 15 s ו-2000 סל ד ל 30 s כדי לייצר שכבה photoresist של מיקרומטר בסביבות 75 עובי.
      הערה: בעוביים שונים photoresist יכולה להיות מושגת באמצעות הטון השלילי photoresists עם מספרי מוצרים שונים ועם ציפוי שונה, אפייה והתנאים לפיתוח, על פי משתמש מדריכים25,26.
    7. רכות אופים את לחם הקודש על ידי חימום זה על גזייה 65 מעלות צלזיוס למשך 3 דקות ולאחר מכן 95 מעלות צלזיוס במשך 9 דקות.
    8. מכניסים כשהפחד לתוך מכונת aligner photomask יחד עם השקיפות בדוגמת מהשלב 1.1.3 כמסיכה.
    9. במכונה aligner, להחיל אור אולטרה סגול (UV)-300 mJ/cm2 לחשוף את לחם הקודש מכוסה על ידי השקיפות.
    10. לאחר חשיפה לאור UV, למקם את לחם הקודש על גזייה 65 מעלות צלזיוס למשך 2 דקות ולאחר מכן 95 מעלות צלזיוס במשך 7 דקות כמו העוגות לאחר חשיפה (PEB).
    11. בעקבות PEB, חריפה להתסיס את וופל שקוע מפתח photoresist בטון שלילי, או מקם כשהפחד שקוע באמבט אולטראסוני (37 kHz, כוח יעיל של 180 W) במשך 7 דקות.
    12. נקה כשהפחד כולו שוב עם אלכוהול איזופרופיל לחסל לכל מפתח שנותרו על פני רקיק.
    13. כדי למנוע לא רצויות, מליטה, silanize פני כשהפחד בהצבת כשהפחד יחד עם 100 µL של 97% silane (1H1H, 2H, 2H- perfluorooctyl-trichlorosilane) 6 ס מ פטרי ב desiccator.
    14. לחבר את desiccator משאבת ואקום ולהגדיר את הלחץ ואקום-760 מ מ כספית.
    15. בשלב הבא, להפעיל את המשאבה עבור 15 דקות מתג זה כבוי ולאחר מכן משאיר כשהפחד לנוח בוואקום ב desiccator למשך 30 דקות.
      התראה: silane המתאיידים הוא מזיק מאוד לבני אדם; לפיכך, פסיבציה משטח כל פרוסת סיליקון צריך להתבצע בשכונה fume.
    16. תביא את לחם הקודש silanized, אשר נערך פסיבציה משטח. לתקן את לחם הקודש 15 ס מ פטרי לשימוש נוסף.
      הערה: כשהפחד בדוגמת מוכן לשמש כתבנית כדי לשכפל את פריסות ערוץ מעוצב הפוך על ידי חומרים PDMS.
  2. ייצור של פריסות ערוץ PDMS על-ידי שכפול הטופולוגיה הפוכה התבניות
    1. לשים את PDMS הבסיס (מונומר) יחד עם זרז המתאים (ריפוי סוכן) ביחס אמצעי אחסון של 10:1 לתוך כוס פלסטיק חד-פעמי ונקייה.
    2. מערבבים את התערובת prepolymer PDMS (מתוך שלב 1.2.1) homogeneously על-ידי שימוש של הכוח מערבב.
    3. הכניסו את הגביע desiccator מחובר את משאבת ואקום במשך 60 דקות כדי להסיר את כל הבועות לכוד בתוך התערובת PDMS.
    4. 20 גרם (עבור סעיף 2) או 8 g (עבור סעיף 3) של תערובת prepolymer PDMS על גבי כייר מאסטר (שנעשתה בשלב 1.1) עם התכונות הפוך טופולוגיה הפריסות ערוץ מעוצב ולאחר מכן לחסל בועות ניתן להטביע את החומרים PDMS באמצעות t הוא desiccator (עבור 60 דקות).
    5. עם העובש נושאת את התערובת PDMS בתנור ב 60 מעלות צלזיוס במשך 4 שעות לרפא את בסיס סיליקון נוזלי prepolymer חומרים.
    6. לאחר קירור כשהפחד יחד עם PDMS לטמפרטורת החדר למשך כ 20 דקות, ניתוק PDMS נרפא של כייר עם האזמל, פינצטה.
    7. חייט לשכבה PDMS מנותק כיסוי אזור (כ 6 x 6 ס מ2 בסעיף 2 או 2 x 7.5 ס מ2 עבור סעיף 3) פריסות הערוץ כולו בעזרת אזמל.
    8. ליצור ערוץ גישה יציאות (אינלטס ועודפים) באמצעות אגרוף ביופסיה של 1.5 מ מ קוטר.
      הערה: את המספרים ואת העמדות של פתחי הכניסה, שקעים מעוצבים בהתבסס על תהליכי איכול עבור בדיית ערוצים ספציפיים microfluidic.
    9. שופכים 30 גרם של תערובת prepolymer PDMS לתוך צלחת פטרי ולאחר מכן לחסל בועות ניתן להטביע את החומרים PDMS באמצעות desiccator את (עבור 60 דקות).
    10. לשים את צלחת פטרי נושאת את התערובת PDMS בתנור ב 60 מעלות צלזיוס במשך יותר מ 4 שעות לרפא את החומרים prepolymer נוזלי.
    11. לאחר קירור הפטרי יחד עם PDMS לטמפרטורת החדר למשך כ 20 דקות, לנתק את PDMS נרפא מתוך קערה עם האזמל, פינצטה.
    12. באמצעות אזמל, להתאים את השכבה PDMS מנותק ללא כל תכונות ממדים שווים לאלה של השכבה PDMS הנ ל (כ 6 x 6 ס מ2 בסעיף 2 או 2 x 7.5 ס מ2 עבור סעיף 3).
    13. להפעיל את המשטחים של שתי שכבות PDMS (עשוי בשלבים 1.2.7 ו- 1.2.12) את פריסות ערוץ מעוצב וללא כל התכונות על ידי חשיפת החומרים PDMS העליון כדי חמצן פלזמה במכונת טיפול פני שטח-90 W 40 s.
    14. בונד PDMS 2 שכבות על-ידי הפיכת קשר בין שלהם משטחים שטופלו מיד לאחר ההפעלה משטח של פלזמה חמצן. אז תעזוב את השכבות PDMS בונדד בתנור ב 60 מעלות צלזיוס במשך יותר מ 30 דקות.
      הערה: יש ללא הגבלת זמן העליון על שעזב את השכבות PDMS בונדד בתנור.
    15. לאחר בונדד 2 שכבות PDMS מצונן, לקצץ את החומרים PDMS עודף מן המכשיר מפוברק על מלכודת ניסיוני מאוחר יותר.

2. הגישה בשלב אחד כדי בודה PDMS ערוצים Microfluidic של חלקים שונים

הערה: כדי לאפיין את PDMS רטוב איכול קצב, מכשיר microfluidic עם שכבה אחת וישר ערוץ של צורות מלבניות הוא הציע אותה כדי שהפגיעות תנוצל לזיהוי שיעורי איכול ספציפי התואם הגדרות מסוימות ניסיוני.

  1. ניסיוני אפיון PDMS רטוב תחריט
    1. להכין פתרון etchant על ידי ערבוב טטרה-n-butylammonium פלואוריד (TBAF, פתרון 1 מ' ב- tetrahydrofuran (THF)) עם 1-מתיל-2-pyrrolidinone (NMP) בקצב של v: v = 1:10.
      הערה: NMP הוא מסוגל ביעילות המסת תמלוגים כימי הנגרם על ידי etchants. באופן כללי, חומרים PDMS נפוחות שולית על ידי NMP ולאחר ההתקנים microfluidic PDMS הם עדיין מסוגלים לשמר את הצורה שלהם, אמצעי אחסון, ויסגור את התנאים.
    2. לצייר את etchants TBAF/NMP מעורב לתוך מזרק 10 מ"ל מחובר מחט בוטה נירוסטה (16 גרם).
    3. להגדיר מזרק משאבה כבקר של הנוזלים מונחה לחץ בערוצים.
    4. לחבר את המחטים בוטה מזרקים מלאים הפתרון etchant ליציאה ערוץ של המכשיר הנ ל פשוט ונדריך את היציאה בהתאמה מהשפך אבובים במיכל אשפה, כפי שמוצג באיור1.
    5. הפעל משאבת מזרק נושאת את מזרקים המכיל הפתרון etchant TBAF/NMP מעורב בקצב זרימת µL/min 150 עבור אפיון של PDMS רטוב תחריט.
    6. השתמש בתצוגות מיקרוסקופית שדה בהיר וודא כי הערוץ חרוט לאורך כיוון הזרימה יש רוחב אחיד, כתוצאה מכך לאשר זאת ערבוב יחס של etchants אמצעי האחסון, קצב הזרימה etchant סבירים.
    7. ללכוד את הזמן-סדרת התמונות של הערוץ חתך תחת מיקרוסקופ הפוך עם 4 X הגדלה במהלך PDMS התחריט.
    8. לנתח את התמונות המאוחסנות על-ידי החלת את פונקציית מדידה בסיסיים ניתוח דו-מימדית של התוכנית עיבוד הדמיה כדי לאסוף את רצף מספרים עבור רוחב ערוץ זמן במהלך רטובה התחריט של חומרים PDMS.
    9. להעריך את תעריפי זמן-סדרת איכול באמצעות המשוואה שמוצג באיור 2, אשר הוא חלוקת 50% על שינוי רוחב ערוץ (ΔW / 2) על ידי משך החריטה PDMS (t).
    10. לבצע רגרסיה ליניארית של נקודות נתונים שנאספו כדי להעריך הכוללת שיעור תחריט etchants TBAF/NMP מעורב עם אמצעי האחסון הספציפי ערבוב יחס של 1:10 עבור החומרים PDMS, כפי שמוצג באיור2.
  2. PDMS רציף רטוב איכול עבור בדיית microfluidic ערוצים של מקטעים גיאומטריים שונים
    1. עיצוב סידור של etchant אינלטס פריסת ערוץ PDMS שכבה אחת המגישה המתאימה תצריב תהליכים ברצף, כך יכול להיות מפוברק סוג ערוץ מסוים של צורות חתך הרוחב שונות, כפי שמוצג באיור 3 .
    2. בצע את ההליכים המתוארים צעדים 2.1.1 - 2.1.7 עבור מהגשם PDMS תצריב הגישה.
      הערה: קצב הזרימה מוגדרות μL 50/min.
    3. בזמן etchants TBAF/NMP זורמים, לבחון את הערוצים חרוט תחת מיקרוסקופ כדי לראות אם קיימות בעיות משמעותיות כגון כמות ניכרת של בועות, הנותרים של מספר תמלוגים כימי הנגרם על ידי etchants, דליפת etchants, . או זרם של etchants על בשיפועהכוח...
    4. לצפות את הווריאציה עובי קיר ערוץ microfluidic על ידי מיקרוסקופ הפוך ולאחר זמן את רטובה התחריט כדי להבטיח שהערוץ המתאים גיאומטריות מושגות.

3. העיצוב של מיקסר Microfluidic

הערה: עיצוב של המיקסר microfluidic אשר יכול ביעילות לערבב 2 נוזלים שונים הוכח כאן כדי להציג יישום יתרון של ערוצי microfluidic עם מקטעים שונים.

  1. ייצור של מיקסר microfluidic עם מקטעים בערוץ אחר
    1. להפוך התקן PDMS עם ערוץ microfluidic שכבה אחת של עיצוב המוצג באיור 4 על-ידי העותק המשוכפל ליתוגרפיה רך שהמודעות טכניקה (סעיף 2).
    2. בפריסה ערוץ של שכבה אחת microfluidic ', להציג את הפתרון etchant TBAF/NMP שהוכן על-ידי ביצוע הפרוצדורות שמתואר בשלב 2.1.1 מהנמל מסומן "אאוטלט" בספיקה µL 20/min באיור4.
    3. להתבונן וריאציית עובי קיר של ערוץ microfluidic מתחת למיקרוסקופ, והזמן את רטובה התחריט כדי להבטיח הערוץ המתאים גיאומטריות כמו מיוצג באיור 5 מושגות.
  2. אפיון ניסיוני של מיקסר microfluidic
    1. לאחר בערוץ microfluidic עם מקטעים של צורות שונות דפוס חלופי זה יתממש, משאבת 2 נוזלים שונים כולל פתרון של fluorescein נתרן מלח יש ריכוז µg 50/mL, מים מזוקקים לתוך 2 ערוצים נפרדים ב µL 20/דקה קצב הזרימה.
    2. לקחת פלורסצנטיות תמונות מיקרוסקופ של הערוץ מבט מלמעלה על המיקומים המסומנים כ- A, B, C ו- D תחת מיקרוסקופ הפוכה (4 X הגדלה) עבור המערבלים 2 עם מדים (לפני תחריט) ושונה גיאומטריות סעיפים (לאחר 2 h של SWEP), בהתאמה ( איור 6).
      הערה: התמונות במיקרוסקופ פלורסצנטיות נלקחים בזמן להתרחש תזרימי יציב, בנקודת זמן של 5 דקות, למנות את הרגעים התחלה של ערבוב דרך הערוצים מיקסר.
    3. לנתח את התמונות פלורסנט שנלכדה באמצעות תוכנית עיבוד הדמיה כדי להעריך המתאימה ערבוב מספרים יעילות אשר מוגדרים על-ידי השארית ערבוב (מר, 0.5 = החלקיות, 0 = מעורב באופן מלא) הבאים משוואת27, 28:
      Equation
      כאן,
      t הוא הזמן לתחריט,
      L הוא רוחב הערוץ במיקום מסוים של עניין,
      S הוא קו ישר לאורך התעלה במיקום, ו
      אני הוא התפלגות עוצמת קרינה פלואורסצנטית מעל S - t.
    4. להתוות את התפלגות עוצמת קרינה פלואורסצנטית מעל S לאורך התעלה ב העמדות מסומן כ- A, B, C ו- D עבור המערבלים 2 עם מדים (לפני תחריט) ושונה גיאומטריות סעיפים (אחרי שעתיים של SWEP), בהתאמה. מעריכים את מר המתאימים כפי שהיא מתוארת באיור 6.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Representative Results

לאחרונה, מספר רב של מחקרים נעשו על הזיוף של microfluidic התקנים עם ערוצי סעיפים שונים על ידי משוכפל ליתוגרפיה שהמודעות13,14,15 ו- PDMS תצריב טכניקות17 , 18 , 19 , 20 , 21 , 22. עם זאת, עדיין קיימות מגבלות ניכר של תכנים צורות, קשיים מייצר פעולות16,23. בנייר זה, מוצע גישה חד-שלבית כדי בודה PDMS microfluidic אפיקי מקטעים גיאומטריים שונים על-ידי SWEP.

איור 1 מציג microfluidic בשכבה יחידה ערוץ פריסות עבור יצירת ערוצים PDMS של חלקים שונים על-ידי SWEP סכמטי ומציג את הגדרת הניסוי של מערכת צינורות המשויך. NMP הוא מאגר המשמש הניסויים SWEP, כפי שמוצג באיור 1a ו- 1b. בניסויים SWEP, חשוב לבחור של הממס נאות לחסל את המוצרים איכול בערוצים לשמירה על תזרימי שכבתית לנצל את התהליכים תחריט. כתוצאה מכך, המאגר NMP נבחר בתור הממס ביעילות להתמוסס המוצרים של22,SWEP23.

הערוצים חרוט מלאים גם צבעי כחול מזון כדי להדגים את האבולוציה של הסעיפים ערוץ בתוך המכשיר microfluidic. על-ידי סידור אינלטס etchant של התבנית ערוץ בשכבה יחידה מעוצבת, microfluidic סעיפים ערוץ עם תכונות שונות הגיאומטריה מסוגים שונים ניתן להשיג דרך SWEP כפי שמתואר באיור3.

כדי לאפיין את PDMS רטוב תצריב קו, מכשיר microfluidic בעל שכבה אחת ומנוצלת ערוץ ישר של צורות מלבניות לזיהוי הכוללת שיעור תחריט etchants TBAF/NMP מעורב עם יחס ערבוב נפח מסוים עבור PDMS חומרים. מאת רגרסיה ליניארית של נקודות נתונים שנאספו הואריאציות רוחב הערוץ ביחס מסוים איכול פעמים, הכולל איכול קצב של הפתרון etchant מוערך ניסיוניים כמו 2.714 מיקרומטר/min (איור 2).

Microfluidic ערוצים עם חתכי רוחב אחיד, בעיקר שהזרימה לאורך ערוץ חומות, אשר לדכא אנשי קשר אקראי בין חלקיקי חומר; לכן, ערבוב נוזלים מונע על ידי דיפוזיה בדרך כלל מושגת באמצעות ערוצים ארוך במיוחד. כתוצאה מכך, microfluidic ערוצים של מקטעים גיאומטריים שונים הם צפוי להקל על ערבוב הנוזלים בעזרת תנועות הנוזלים לרוחב מעל ערוץ מקטעים. במחקר זה, בעיצוב של מיקסר microfluidic (איור 4) שבו שני נוזלים שונים מעורבבים ביעילות הוא הפגין כאן כדי להציג יישום יתרון אחד של ערוצי microfluidic עם מקטעים שונים. איור 5 מציג את התמונות זמן-סדרה של הערוץ מיקסר microfluidic המציא על-ידי SWEP שימוש בחומרים PDMS בתצוגת העליון-תצריב שלבי 0 h 0.25 h, 0.40 h. 0.55 h, 0.70 h, 1.00 h, 2.00 h ברצף.

לאחר microfluidic ערוץ עם מקטעים של צורות שונות דפוס חלופי הוא הבין ואני שני נוזלים שונים כולל פתרון של מים מזוקקים ומלח נתרן fluorescein לאחר מכן אחרים וכישרונות לתוך בשני ערוצים נפרדים, קרינה פלואורסצנטית תמונות למיקרוסקופ של התעלה העליונה להציג העמדות שסומנו A, B, C ו- D הם כבשו תחת מיקרוסקופ הפוך עבור המערבלים שני עם תלבושת אחידה (צריבה), מקטעים גיאומטריים שונים (לאחר 2 h של SWEP), בהתאמה (איור 6). תמונות אלה נלקחים בזמן להתרחש תזרימי יציב, בנקודת זמן של 5 דקות, למנות את הרגעים התחלה של ערבוב דרך הערוצים מיקסר. לאחר מכן, אלה תמונות מיקרוסקופ פלורסצנטיות מועברות תוכנית אוטומטית שפותחה במחקר זה כדי לחלץ את המספרים מר המתאימים המייצג את היעילות ערבוב של המיקסר.

לפני תהליך חריטה, הערוץ של המיקסר עם פריסה ערוץ סרפנטין היה זהה חתכי רוחב של צורה מלבנית. בשל מספיק ערוץ האורך הדרושה ביזור מנגנונים, יש מיקסר microfluidic אתריים של ערבוב יעילות המיוצג על-ידי 0.4607, 0.3403, 0.2450, ומספרים 0.1940 מר-A, B, C ו- D עמדות, בהתאמה. אחרי שעתיים של SWEP, עם אורך הערוץ הכולל שווה לזו המקורית, מיקסר microfluidic יש ערוץ קטעים של צורות שונות דפוס חלופי. זה חשוב כי המיקסר עם הסעיפים בערוץ אחר מספק עלייה המסומן בערבוב יעילות, המיוצג על ידי באופן ניכר הפחתת מספרים מר 0.3875, 0.1915, 0.1336 ו 0.0680-A, B, C ו- D עמדות, בהתאמה, בגלל נוזל לרוחב תנועות המוביל advection בנוסף מנגנונים דיפוזיה. . חוץ מזה, מיקום B - D, מנגנונים אלה advection המתרחשת לאורך הערוץ מקטעים תוצאה נראית לעין, אחיד להגדיל יעילות ערבוב של מיקסר מפוברק על ידי SWEP.

Figure 1
איור 1: הגדרת אבובים בפריסות בשכבה יחידה ערוץ microfluidic ליצירת ערוצי PDMS של חתכי רוחב גיאומטריות שונות בתהליכים רציפים איכול רטוב (SWEP). () הסכמות מציגה את microfluidic התקנים עם ערוצי שכבה אחת. השכבה העליונה מפוברק באמצעות PDMS של עיצובים ערוץ מרובים עבור הסדרים כניסת etchant רטוב. השכבה התחתונה עשויה PDMS עם תבנית ריקה. (למעלה: כניסת etchant אחד; התיכון: שני פתחי הכניסה etchant.) החלק התחתון הוא, התבנית הזיוף השכבה העליונה. (b) בלוחות אלה מראים את המכשיר שהורכב עבור הזיוף של ערוצים של חלקים שונים. הרוחב של הערוצים ואת עובי הקירות הם 50 מיקרומטר ו 100 מיקרומטר, בהתאמה. (ג) הלוחות הללו מראים את התמונות ניסיוני של הסידור אבובים בפריסות ערוץ שכבה אחת microfluidic עבור SWEP. (שורה עליונה: כניסת etchant אחד; שורה תחתונה: שני פתחי הכניסה etchant.) אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של הדמות הזאת.

Figure 2
איור 2: אפיון PDMS רטוב לתחריט. איור זה מציג הרגרסיה הליניארית של הערוץ חצי שנאספו רוחב שינויים ביחס זמני איכול עבור הערכת הכוללת שיעור תחריט etchants TBAF/NMP מעורב עם יחס ערבוב נפח מסוים עבור החומרים PDMS. [שיבוץ הוא תיאור סכמטי של הגיאומטריה חתך הרוחב של תבנית פשוטה וישר ערוץ עבור אפיון את רטובה תצריב המחירים של חומרים PDMS. הכולל איכול בשיעור של TBAF/NMP (v: v = 1:10) הוא מיקרומטר 2.714/דקה והוא המתאים R2 (מקדם הדטרמינציה) 0.9913.] אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של הדמות הזאת.

Figure 3
איור 3: מפוברק microfluidic ערוצים של מקטעים גיאומטריים שונים על ידי רציפים איכול רטוב PDMS. לוחות אלה להראות עיבודים שונים של etchant אינלטס בשכבה יחידה PDMS ערוץ פריסות המגישה המתאימה תצריב תהליכים ברצף בדיית ערוץ מסוים סוגים של צורות חתך הרוחב שונות כגון () בצורת צלב, (b) המשקולת בצורת, בצורת פעמון גאומטריות חתך הרוחב (c). אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של הדמות הזאת.

Figure 4
איור 4: מפוברק מיקסרים microfluidic ניצול ערוצים עם מקטעים שונים. () לוח זה הוא עיצוב ציור של פריסת בשכבה יחידה ערוץ להרכבת מערבל microfluidic ניצול ערוצים עם חלקים שונים. התחתון מראה, התבנית הזיוף ערוץ בשכבה יחידה. (b) הפאנלים להראות את האריח הסריקה תמונות למיקרוסקופ של התעלה מיקסר שלם לפני ואחרי h 1 ו-2 של PDMS רטוב תצריב. (ג) אלה מראות ניסויי שדה בהיר תמונות של המיקסר מקטעים ערוץ אשר מיוצרים על ידי h 1 ו-2 של PDMS רטוב תצריב מלמעלה תצוגה (שורה עליונה), בתצוגה חיתוך בניצב לכיוון הזרימה לאורך ה- x-ציר (השנייה למעלה), בתצוגה מקטע A-A גזור (שלישית מלמעלה), B-B לחתוך עמדות (השורה התחתונה). אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של הדמות הזאת.

Figure 5
איור 5: זמן-סדרת תמונות של microfluidic מערבל ערוצים של חלקים שונים מפוברק על ידי איכול רטוב רציפים של חומרים PDMS. () לוח זה מראה את הסכמה של פריסת בשכבה יחידה ערוץ להרכבת מערבל microfluidic עם מקטעים בערוץ אחר. (b) הדימויים המיקרוסקופ מראה פאנלים של הערוץ מיקסר מלמעלה להציג בכל שלבי איכול ברצף. אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של הדמות הזאת.

Figure 6
איור 6: אפיון של מיקסר microfluidic מפוברק על ידי רציפים איכול רטוב PDMS. () אלה מראות פלורסצנטיות תמונות למיקרוסקופ של התעלה מיקסר-המיקומים המסומנים כ- A, B, C ו- D, לפני החדרת etchants ו- 2 h רטוב תחריט של חומרים PDMS. (b) הלוחות הללו להציג את השדות עוצמת קרינה פלואורסצנטית נמדד המוצגים? לעזאזל מנורמל לאורך התעלה מערבל את העמדות A, B, C ו- D לפני (למעלה) ובבית 2 h של איכול רטוב PDMS (באמצע). הוא גם מראה את מר שנותחה המייצג את היעילות ערבוב של המיקסר (0.5: 0 החלקיות,: מעורב באופן מלא)-במגוון תפקידים ערוץ לפני ו- h 2 של תחריט (למטה). אנא לחץ כאן כדי להציג גירסה גדולה יותר של הדמות הזאת.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Discussion

במהלך העשורים האחרונים, הציע מיקרופלואידיקה מבטיח אמצעי שבאמצעותו ניתן פלטפורמות ניסיוני למחקר ביורפואי כימיכאלים נבנה באופן שיטתי1,2,3,4, 5. הפלטפורמות גם הציגו את היכולות שלהם לחקור תאיים מספר vivo בתוך בתנאים פיזיולוגיים microenvironment via במבחנה תא מחקרים6,7, 8 , 9. מחקר ניסויי, יישומים קשורים, רוב הערוץ חתכי רוחב של microfluidic התקנים הינם אחידים מטה. ב מכשירים כאלה microfluidic, המבנים ערוץ משחק תפקיד חשוב, בתנאים microenvironment. לדוגמה, בעת שימוש מיקרופלואידיקה מכשירים עבור תרופות, שליטה פסיבית על כזה תחבורה כימי הוא מווסת על ידי כוונון קצב הזרימה בערוץ מלבני של חתך הרוחב הסטנדרטי הגיאומטריה29. עבור התפלגות השטף הרצוי של התחבורה חומר מעל תעלת לאורך כיוון הזרימה, ייתכן שיהיה צורך ערוצי microfluidic עם מקטעים גיאומטריים שונים תחת הגדרת קצב בסך הכל נפחי הזרימה. מספר רב של מחקרים לקחת כמה צעדים חשובים כדי לפברק כזה צ'יפס עם ערוצי הרצוי עם חלקים שונים, כולל בניית תבניות בסיס עם דפוסים משטח מסוים של גבהים שונים או לחצות מלבני 14,13,סעיפים15 ו- PDMS תצריב טכניקות ליצירת משטחים עם תכונות גיאומטריות17,18,19,20 , 21 , 22. עם זאת, במאמצים אלה מערבים תהליכי ייצור מורכבים לא רק אבל גם מוגבלים לצורות חתך ספציפי של ערוצי16,23.

בנייר זה, גישה חד-שלבית ליצירת ערוצי PDMS עם מקטעים שונים הוא מתקדם על ידי החדרת etchant לתוך ערוצים ספציפיים של פריסות בשכבה יחידה המתוכנן מוטבע בחומרים PDMS דרך ברורה ועקבית. יתר על כן, התהליכים איזוטרופיות איכול רטוב רציפים של יצירת ערוצי עם צורות שונות של חתך הרוחב אומתו באמצעות חישוב נומרי איטרטיבי30. ככל הנראה, קשה ליצור ערוץ גיאומטריות מקטע עם זוויות חדות בשל הסרת איזוטרופיות החומר PDMS במהלך רטובה רציפים תצריב תהליכים. ביישומים מעשיים, שליטה מדויקת גיאומטריות סעיף מפוברק ערוצי microfluidic מחייב של אפיון מדויק של שיעורי איכול רטוב PDMS וכן עיבודים בזהירות קביעת מערכת צינורות המשויך. בהשוואה לשיטות הקיימות לייצור PDMS microfluidic לערוצי בגיאומטריות שונות, הגישה מפותחות בשלב אחד יכול באופן משמעותי לפשט את התהליכים של בדיית ערוצים עם מקטעים מלבני או בגבהים שונים. כתוצאה מכך, פיתח טכניקה מספק דרך בניית ערוצי microfluidic מורכבים, דבר שעלול להוביל פיתוח מערכות חדשניות microfluidic ליישומים שונים.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Disclosures

המחברים יש ריהצהל.

Acknowledgments

המחברים לאשר בתודה את התמיכה סיפקו מאת נבחרת הבריאות מחקר מוסדות (NHRI) בטייוואן תחת חדשני מחקר גרנט (IRG) (EX106-10523EI), את טייוואן משרד המדע והטכנולוגיה (ביותר 104-2218-E-032-004, 104 - 2221 - E-001-015-MY3, 105-2221-E-001-002-MY2, 105-2221-E-032-006, 106-2221-E-032-018-MY2), ופרס האקדמיה Sinica הקריירה פיתוח. המחברים רוצה להודות הנג-Hua Hsu להגהת כתב היד.

Materials

Name Company Catalog Number Comments
1-Methyl-2-Pyrrolidinone Tedia, Fairfield, OH ME-1962 NMP
10 ml Syringe Becton-Dickinson, Franklin Lakes, NJ 302151
150 mm Petri dish Dogger Science DP-43151
1H,1H,2H,2H- Perfluorooctyltrichlorosilane Alfa Aesar, Ward Hill, MA L16606 97 % silane 
4'' Silicon Dummy Wafer Wollemi Technical, Taoyuan, Taiwan -
Acetone ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan AH3102-000000-72EC
AG Double Expose Mask Aligner M&R Nano Technology, Taoyuan, Taiwan AG500-4D-D-V-S-H
Biopsy Punch Miltex, Plainsboro, NJ 33-31
Blunt Needle Jensen Global, Santa Barbara, CA Gauge 16
Buffered Oxide Etch ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan PH3101-000000-72EC
Desicattor A-VAC Industries, Anaheim, CA 35.10001.01
Fluorescein Sodium Salt Water Sigma-Aldrich Co., St Louis, MO F6300
ImageJ National Institutes of Health, Bethesda, MD Ver. 1.51 Imaging Processing Program 
Inverted Fluorescence Microscope  Leica Microsystems, Wetzlar, Germany DMI 6000 B
Isopropyl Alcohol (IPA) ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan CMOS112-00000-72EC
Leica Application Suite  Leica Microsystems GmbH LAS X
MATLAB MathWorks, Natick, MA R2015b Programming for MR evaluation
Mechanical Convention Oven ThermoFisher Scientific,Waltham, MA Lindberg Blue M MO1450C
Plasma Tretment System Nordson MARCH, Concord CA PX-250 Oxygen plasma surface treatment
Polydimehtylsiloxane (PDMS)  Dow Corning, Midland, MI SYLGARD 184
Polyethylene Tubing Becton-Dickinson and Company, Sparks, MD 427446 PE 205, 10'
Spin Coater ELS Technology, Hsinchu, Taiwan ELS 306MA
Negative Tone Photoresist  MicroChem, Westborough, MA SU-8 2050
Negative Tone Photoresist Developer MicroChem, Westborough, MA Y020100 SU-8 Developer
Surgical Blade Feather, Osaka, Japan 5005093 PDMS cutting
Syringe Pump Chemyx, Houston, TX Fusion 400
Tetra-n-butylammonium Fluoride (TBAF) Alfa Aesar, Ward Hill, MA A10588

DOWNLOAD MATERIALS LIST

References

  1. Tung, Y. -C., et al. Optofluidic Detection for Cellular Phenotyping. Lab on a Chip. 12, 3552-3565 (2012).
  2. Lu, Y., Yang, L., Wei, W., Shi, Q. Microchip-based Single-cell Functional Proteomics for Biomedical Applications. Lab on a Chip. 17, 1250-1263 (2017).
  3. Jensen, K. F., Reizman, B. J., Newman, S. G. Tools for Chemical Synthesis in Microsystems. Lab on a Chip. 14, 3206-3212 (2014).
  4. Chang, C. -W., et al. A Polydimethylsiloxane-polycarbonate Hybrid Microfluidic Device Capable of Generating Perpendicular Chemical and Oxygen Gradients for Cell Culture Studies. Lab on a Chip. 14, 3762-3772 (2014).
  5. Mosadegh, B., et al. Integrated Elastomeric Components for Autonomous Regulation of Sequential and Oscillatory Flow Switching in Microfluidic Devices. Nature Physics. 6, 433-437 (2010).
  6. Choi, S., Park, J. -K. Tuneable Hydrophoretic Separation Using Elastic Deformation of Poly(Dimethylsiloxane). Lab on a Chip. 9, 1962-1965 (2009).
  7. Choi, S., Song, S., Choi, C., Park, J. -K. Microfluidic Self-Sorting of Mammalian Cells to Achieve Cell Cycle Synchrony by Hydrophoresis. Analytical Chemistry. 81, 1964-1968 (2009).
  8. VanDelinder, V., Groisman, A. Separation of Plasma from Whole Human Blood in a Continuous Cross-Flow in a Molded Microfluidic Device. Analytical Chemistry. 78, 3765-3771 (2006).
  9. VanDelinder, V., Groisman, A. Perfusion in Microfluidic Cross-Flow: Separation of White Blood Cells from Whole Blood and Exchange of Medium in a Continuous Flow. Analytical Chemistry. 79, 2023-2030 (2007).
  10. Duffy, D. C., McDonald, J. C., Schueller, O. J., Whitesides, G. M. Rapid Prototyping of Microfluidic Systems in Poly(dimethylsiloxane). Analytical Chemistry. 70 (23), 4974-4984 (1998).
  11. Xia, Y., Whitesides, G. M. Soft Lithography. Annual Review of Material Science. 28, 153-184 (1998).
  12. Mello, A. Plastic Fantastic? Lab on a Chip. 2, 31N-36N (2002).
  13. Choi, S., Park, J. -K. Two-step Photolithography to Fabricate Multilevel Microchannels. Biomicrofluidics. 4, 046503 (2010).
  14. Zhong, K., Gao, Y., Li, F., Zhang, Z., Luo, N. Fabrication of PDMS Microlens Array by Digital Maskless Grayscale Lithography and Replica Molding Technique. Optik. 125, 2413-2416 (2013).
  15. Brower, K., White, A. K., Fordyce, P. M. Multi-step Variable Height Photolithography for Valved Multilayer Microfluidic Devices. Journal of Visualized Experiments. (119), e55276 (2017).
  16. Lai, D., et al. Simple Multi-level Microchannel Fabrication by Pseudo-grayscale Backside Diffused Light Lithography. RSC Advances. 3, 19467-19473 (2013).
  17. Huh, D., et al. Reconstituting Organ-Level Lung Functions on a Chip. Science. 328, 1662-1668 (2010).
  18. Deng, Y. -L., Juang, Y. -J. Polydimethyl Siloxane Wet Etching for Three-Dimensional Fabrication of Microneedle Array and High-Aspect-Ratio Micropillars. Biomicrofluidics. 8, 026502 (2014).
  19. Tung, Y. -C., Kurabayashi, K. Nanoimprinted Strain-controlled Elastomeric Gratings for Optical Wavelength Tuning. Applied Physics Letters. 86, 161113 (2005).
  20. Tung, Y. -C., Kurabayashi, K. A Single-Layer PDMS-On-Silicon Hybrid Microactuator with Multi-Axis Out-Of-Plane Motion Capabilities-Part II: Fabrication and Characterization. Journal of Microelectromechanical Systems. 14, 558-566 (2005).
  21. Chen, W., Lam, R. H. W., Fu, J. Photolithographic Surface Micromachining of Polydimethylsiloxane (PDMS). Lab on a Chip. 12, 391-395 (2012).
  22. Balakrisnan, B., Patil, S., Smela, E. Patterning PDMS Using a Combination of Wet and Dry Etching. Journal of Micromechanics and Microengineering. 19, 047002 (2009).
  23. Takayama, S., et al. Topographical Micropatterning of Poly(dimethylsiloxane) Using Laminar Flows of Liquids in Capillaries. Advanced Materials. 13, 570-574 (2001).
  24. Friend, J., Yeo, L. Fabrication of Microfluidic Devices Using Polydimethylsiloxane. Biomicrofluidics. 4, 026502 (2010).
  25. NANO SU-8 2000 Negative Tone Photoresist formulations 2002-2025. , MicroChem Corporation. Newton, MA. Available from: https://www.seas.upenn.edu/~nanosop/documents/SU8_2002-2025.pdf (2000).
  26. NANO SU-8 2000 Negative Tone Photoresist formulations 2035-2100. , MicroChem Corporation. Newton, MA. Available from: https://www.seas.upenn.edu/~nanosop/documents/SU8_2035-2100.pdf (2000).
  27. Hardt, S., Schönfeld, F. Laminar Mixing in Different Interdigital Micromixers: II. Numerical Simulations. AIChE Journal. 49, 578-584 (2003).
  28. Hessel, V., Löwe, H., Schönfeld, F. Micromixers-A Review on Passive and Active Mixing Principles. Chemical Engineering Science. 60, 2479-2501 (2005).
  29. Damiati, S., Kompella, U., Damiati, S., Kodzius, R. Microfluidic Devices for Drug Delivery Systems and Drug Screening. Genes. 9, 103 (2018).
  30. Wang, C. -K., et al. Single Step Sequential Polydimethylsiloxane Wet Etching to Fabricate a Microfluidic Channel with Various Cross-Sectional Geometries. Journal of Micromechanics and Microengineering. 27, 115003 (2017).

Tags

הנדסה גיליון 139 מיקרופלואידיקה polydimethylsiloxane ייצור של microfluidic התקנים רטוב תצריב קו microfluidic ערוצים של מקטעים גיאומטריים שונים מיקסרים microfluidic
הגישה של צעד אחד בדיית Polydimethylsiloxane Microfluidic אפיקי מקטעים גיאומטריים שונים בתהליכים רציפים איכול רטוב
Play Video
PDF DOI DOWNLOAD MATERIALS LIST

Cite this Article

Wang, C. K., Liao, W. H., Wu, H. M., … More

Wang, C. K., Liao, W. H., Wu, H. M., Tung, Y. C. One-Step Approach to Fabricating Polydimethylsiloxane Microfluidic Channels of Different Geometric Sections by Sequential Wet Etching Processes. J. Vis. Exp. (139), e57868, doi:10.3791/57868 (2018).

Less
Copy Citation Download Citation Reprints and Permissions
View Video

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter