Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Click here for the English version

Engineering

Radiofrekvens Magnetron Sputtering av GdBa2Cu3O7ses/ La0,67Sr0,33MnO3 kvasi bilayer filmer på SrTiO3 (STO) én-krystall underlag

doi: 10.3791/58069 Published: April 12, 2019

Summary

Her presenterer vi en protokoll for å vokse LSMO nanopartikler og (Gd) BCO filmer på (001) SrTiO3 (STO) én-krystall underlag av radiofrekvens (RF)-sputtering.

Abstract

Her viser vi en metode for belegg ferromagnetisk La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nanopartikler på (001) SrTiO3 (STO) én-krystall underlag av (radiofrekvens) magnetron sputtering. LSMO nanopartikler ble avsatt med diameter fra 10 til 20 nm og høyder mellom 20 og 50 nm. Samtidig, (Gd) Ba2Cu3O7ses ((Gd) BCO) filmer ble laget på både begravelsessenger og LSMO hydrogenion dekorert STO underlag med RF magnetron sputtering. Denne rapporten beskriver også egenskapene for GdBa2Cu3O7ses/ La0,67Sr0,33MnO3 kvasi bilayer filmer strukturer (f.eks krystallinsk fasen morfologi kjemisk sammensetning); magnetization, magneto-transport og superledende transport egenskaper ble også vurdert.

Introduction

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Hull-dopet manganite La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) har unike egenskaper som bredbånd hull, halv-metallisk ferromagnetism, og fanget elektronisk stater, som gir ekstraordinær muligheter for potensielle vassdrags programmer1,2,3,4. Foreløpig mange forskere bestreber å dra nytte av de unike egenskapene til LSMO å bebo vortex bevegelsen for høy temperatur superledende (HTS) film, som (RE) Ba2Cu3O7ses filmer (REBCO, RE = rare - earth element)5,6,7,8,9,10,11,12. Nanoskala dekorasjon av underlaget overflater med ferromagnetisk nanopartikler vil gi veldefinerte nettsteder for inducing magnetiske låsing av forventet tetthet13,14. Muligheten til å kontrollere tetthet og geometrien av nanopartikler på svært strukturerte overflater, som på én-krystall underlag og svært profilert mettaliske underlag er imidlertid svært vanskelig. Oftest nanopartikler er synthesized belagt på flater med metall organisk nedbrytning metoder15og pulsed laser deponering metoder16,17. Selv puls laser deponering metoder kan gi nanopartikler belagt på ulike underlag, er det vanskelig å innse stort område homogen nanopartikler deponering. Som for metall organisk nedbrytning metoder er de riktig for stort område deponering av nanopartikler. Nanopartikler er imidlertid ofte ikke-uniform og lett skadet av liten fysisk stresset.

Blant disse teknikkene har RF-magnetron sputtering mange fordeler. Sputtering har en høy deponering pris, rimelig, og mangel av giftig gassutslipp. Det er også enkelt å utvide til storskala området underlag18,19. Denne metoden gir enkeltsteg dannelsen av La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nanopartikler nanopartikler er lett å bli satt på én-krystall underlag. RF magnetron sputtering kan opprette stort område nanopartikler jevnt på en rekke forskjellige underlag, uavhengig av overflatestruktur og overflateruhet20. Kontrollen partikkel kan oppnås ved å justere sputtering tid. Homogenitet kan oppnås ved å justere mål-underlaget avstand. Ulempen med RF-magnetron sputtering er lavere veksten for noen oksider21. Denne tilnærmingen mål atomer (eller molekyler) er freste fra målet av argon ion og deretter nanopartikler settes på underlag i damp fase22. Nanopartikler formasjon forekommer på underlaget i en enkelt trinn23. Denne metoden gjelder teoretisk materiale inkludert superledende tynnfilm motstand, halvleder film, film ferromagnetisk tynn film etc. men hittil, rapporter om protokoller for innskudd ferromagnetisk nanopartikler er svært knappe.

Her viser vi at Cospatric av GdBa2Cu3O7ses/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi bilayer filmer på SrTiO3 (STO) én-krystall underlag av RF magnetron sputtering metode. To typer mål materialer, GdBa2Cu3O7ses og La0,67Sr0,33MnO3 mål brukes i prosessen. SrTiO3 (STO) én-krystall overflater ble belagt med GdBa2Cu3O7sesfilmer og GdBa2Cu3O7ses/La0,67Sr 0,33 MnO3 kvasi bilayer filmer.

I denne protokollen settes GdBa2Cu3O7ses/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi bilayer filmer med RF magnetron sputtering på STO (001) underlag. Avstanden mellom mål og underlag er ca 10 cm diameter målet er 60 mm. Varmeovner er pærer plassert 1 cm over substrater. Den maksimale temperaturen er 850° C i dette systemet. Det finnes 5 ulike underlag i dette systemet. RF magnetron sputtering GdBa2Cu3O7ses/La0,67Sr0,33MnO3 kvasi bilayer filmer består av to trinn, som er utarbeidelsen av underlag og RF-magnetron sputtering prosessen. Et bilde av sputtering systemet er vist i figur S1.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Protocol

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

1. substrat og målet forberedelse

Merk: Denne delen beskriver utarbeidelse av frese deponering kammeret og én krystall SrTiO3 (STO) underlag.

  1. Bruke 10 x 10 mm SrTiO3 (STO) én-krystall underlag under RF magnetron sputtering prosessen.
  2. Sekvensielt rent underlag i isopropanol og deionisert vann i 10 min hver ved romtemperatur i ultralydbad. Tørk substrater med nitrogen, som er for uniform dekker substrat og god film etterlevelse.
  3. Montere (001) STO substrater i underlaget innehaverne med sølv pulver ledende lim. Laste disse inn i vakuum kammeret.
  4. Montere LSMO målet i magnetron injeksjon pistolen, og deretter reassemble pistolen. Teste motstanden med en ohmmeter, unngå en kortslutning mellom magnetron og det omliggende skjoldet. Lukk vakuum kammeret er lukket og pumpe ned.
  5. Når vakuum er lavere enn 1 x 10-4 Pa, varme substrater 850 ° c ved hjelp av en oppvarming rate av 15 ° C/min. sett mål-underlaget avstanden til 8 cm.
  6. Angi massen flyt kontrolleren 10 sccm o og 5 sccm av Ar som arbeider gasstrømmen. Bruke Ar / O blandet gass å holde O kationisk forholdet (3) La0,67Sr0,33MnO3 materiale under vekst.
  7. Før, pre Dale LSMO målet for 20 min 30 W. høy makt vil føre til sprekker i målet og bruke strømsparingsmodus vil føre til mer tid til en ren overflate, så vi velger 20 min for 30 W.

2. LSMO hydrogenion avsetning

Merk: Denne delen beskriver avsetning av LSMO nanopartikler av RF-magnetron sputtering.

  1. Å få et kammer trykk 25 Pa, justere molekylære pumpen skinne ventilen. Hvis øyeblikkelig verdien blir større enn 25 Pa, rotere det mot klokken; Hvis det blir mindre enn 25Pa, rotere med klokken. Fortsett til trykket har avgjort en stabil verdi.
  2. Kontroller at substrat temperaturen forblir på 850 ° C og er stabil.
  3. Øke kraften i magnetron fra 30 til 80 W. vente 10 min, til plasma har stabilisert seg.
  4. Åpne skodde og innskudd LSMO på oppvarmet underlaget.
    Merk: Vi brukt sputtering ganger 5, 10, 30 og 60 s for fire prøver.
  5. Lukke skodde. Slå av strøm til magnetron. Lukker gassventilen og stenge varmeapparatet makt.
  6. Cool prøvene til romtemperatur. Uvanlig, tar dette minst to timer i dette systemet. Vent til kammeret tørr nitrogen, åpne den og fjerne prøvene.

3. GdBa2Cu3O7−δ filmen deponering

  1. Montere GdBa2Cu3O7−δmålet i magnetron pistolen, så montere pistolen. Sette inn noen (Gd) BCO filmer, ved hjelp av fremgangsmåten ligner på fremgangsmåten 1.4-2.8. Bruke lignende deponering betingelser for (Gd) BCO filmer som LSMO nanopartikler, unntatt sputtering tiden som skal 30 min. Etter dette veksten vil være over, og neste trinn er etter annealing.
  2. Redusere eksempel temperaturen til 500° C. Deretter åpne gassventilen i oksygen å gi et kammer Trykk på 75 000 Pa. holder prøvene ved denne temperaturen i en time.
    Merk: Temperaturen for 500 ° C og et kammer Trykk på 75.000 Pa er for likt å oppnå LSMO nanopartikler.
  3. Cool prøvene til romtemperatur. Vent til kammeret tørr nitrogen, åpne den og fjerne prøvene.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Representative Results

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Tykkelsen på (Gd) BCO filmer på begge nakne og LSMO innredet STO substrat var 500nm, som ble målt ved en overflate profilometer. Filmen tykkelsen ble kontrollert av sputtering tid. Figur 1a b viser AFM bilde av LSMO hydrogenion (sputtering tid 10 s) på 1,0 cm x 1,0 cm én-krystall STO underlag å bevise at LSMO nanopartikler dyrket på STO underlag jevnt. Overflaten og måle råhet av filmene var preget av atomic force mikroskopi (AFM) i å trykke modus. Diameteren på disse LSMO nanopartikler varierte fra 10 til 20 nm. Sin høyde varierer fra 20 til 50 nm. Med en riktig justering av avsatt parametere, for eksempel vekst temperaturer og mål-underlaget avstand, kunne ulike form oppnås, som vist i figur 1 cd. På en lav temperatur (650 ° C), ble partikkel og linje blandet topografi oppnådd, som vist i figur 1 c. Videre, liten mål-underlaget avstand (6 cm) kan føre til en høy tetthet av LSMO partikler med liten størrelse (figur 1 d). Strukturen til LSMO nanopartikler (sputtering tid 10 s) og (Gd) BCO filmer (figur 2) ble målt ved X-ray diffractometer (XRD) måling med Cu K stråling drives på 40 kV og 20 mA. I Figur 3, resultatene vises for to representative (Gd) BCO eksempler som beskrevet ovenfor: (Gd) BCO filmer på begravelsessenger og LSMO innredet underlag. Superledende overgang temperaturen (Tc) var nær 90.5 K for ren GBCO film og 90,3 K for LSMO/GBCO filmer. Denne nesten like Tc-verdien angir LSMO nanopartikler ikke skade superledende eiendommen (Tc) for (Gd) BCO filmer. Høyere skråningen angir mindre Tc bredde for ren GBCO film sammenlignet med LSMO/GBCO filmer. Magnetization hysteresis sløyfer for disse to utvalgene tegnes i Figur 4. Sammenligning er er M-H loop området mye større fra 0 til 6 T på 30K for (Gd) BCO filmer laget på LSMO innredet substrat. Den samme trenden finnes på 50 og 77 K.

Representant J-H distribusjoner vises også for hver prøve i figur 5. For et gitt magnetiske felt beregnes disse distribusjonene som
Equation
hvor en og b er lengden og bredden på testet utvalget. Et magnetisk felt, som er vinkelrett eksempel flyet, en < b, brukes under testing prosessen. I vårt tilfelle, en og b er 3 og 4 mm, henholdsvis. ΔM symboler i formelen er forskjellen mellom øvre og nedre verdier på en magnetisk hysteresis sløyfe på samme H, som vist i Figur 4. Den kritiske nåværende tettheten og dens avhengigheter av felthjelp vil gi mer om effekten av LSMO nanopartikler flux låsing egenskaper. Disse dataene i figur 5a foreslår at (Gd) BCO filmen avsatt på LSMO innredet substrat har en høyere Jc verdi 1,3 til 6 T på 30 K. Videre, som vist i figur 5b, innredet (Gd) BCO filmen laget på LSMO substrat viser en høyere Jc verdi fra 0 til 6 T på 77 K. De to fenomenene i figur 5 antyder at en ekstra feste mekanisme finnes i (Gd) BCO filmer på LSMO innredet underlag. Vi kalte det som magnetiske låsing, som skyldes LSMO nanopartikler avsatt på underlaget.

Feste force tetthet ble beregnet av Fp = Jc × B. Det beregnede resultatet vises i figur 6ab. Det er en krysset på 1.3T for Fp (maks) verdi på 30 K (figur 6a), som, dekorerte utvalget har større Fp-verdi. Fp (maks) verdien 77K flyttet til en høyere H verdi (fra 0,6 T til 2,5 T) for eksempel med dekorasjon, som vises i figur 6b. Denne forskjellen angir også det er ulike låsing mekanismer (Gd) BCO film med og uten LSMO dekorasjon.

Vi målt kritiske nåværende tetthet avhengigheten av magnetfelt retning for å få ytterligere interessant informasjon om virvelen låsing egenskaper. Figur 7 viser kantete avhengigheten av Jc 0.3T og 77 K (Gd) BCO film med og uten LSMO dekorasjon. Det er funnet at den mest fremtredende økningen av Jc er langs c-akse. Dette tyder på at det er mer effektiv på en feltet retning av H / / c LSMO innredet (Gd) BCO filmen. For å forklare fenomenet, vi viser en skjematisk i rammemargen i figur 7, som viser threading dislokasjoner generert på H / / c retning. Vi tror at de tråder dislokasjoner langs c-aksen i en (Gd) BCO film med LSMO innredning er ansvarlig for dette fenomenet.

Figure 1
Figur 1: Atomic Force mikroskopiske bildet av LSMO hydrogenion dekorert STO underlag. (a) 2D-bilde, (b) 3D-bilder, (c) 3D-bilde av prøven dyrkes på en lav temperatur (650 ° C) og (d) 3D-bilde av prøven vokst på små mål-underlaget avstand (6 cm). Gjengitt med tillatelse fra tidligere arbeid12. Copyright 2018 Elsevier. Klikk her for å se en større versjon av dette tallet.

Figure 2
Figur 2: XRD mønster av (Gd) BCO tynne filmer laget på begravelsessenger og LSMO hydrogenion dekorert STO underlag. Gjengitt med tillatelse fra tidligere arbeid12. Copyright 2018 Elsevier. Klikk her for å se en større versjon av dette tallet.

Figure 3
Figur 3: DC magnetization målinger av superledende overgangen Tc for (Gd) BCO tynne filmer laget på begravelsessenger og LSMO hydrogenion dekorert STO underlag. Gjengitt med tillatelse fra tidligere arbeid12. Copyright 2018 Elsevier. Klikk her for å se en større versjon av dette tallet.

Figure 4
Figur 4: Magnetization hysteresis sløyfer for (Gd) BCO tynne filmer på den begravelsessenger og LSMO hydrogenion dekorert STO underlag ved tre forskjellige temperaturer. (a) 30 K, (b) 50 K og (c) 77 K. Gjengitt med tillatelse fra tidligere arbeid12. Copyright 2018 Elsevier. Klikk her for å se en større versjon av dette tallet.

Figure 5
Figur 5: feltet avhengighet av Jc (den kritiske nåværende tettheten) for (Gd) BCO tynne filmer på begravelsessenger og LSMO innredet STO underlag på (a) 30 K og (b) 77 K. Gjengitt med tillatelse fra tidligere arbeid12. Copyright 2018 Elsevier. Klikk her for å se en større versjon av dette tallet.

Figure 6
Figur 6: variant av Fp som en funksjon av anvendt magnetfeltet for (Gd) BCO filmer avsatt på begravelsessenger og LSMO-hydrogenion-dekorert STO underlag. (en) 30 K og (b) 77 K. Reprinted med tillatelse fra tidligere arbeid12. Copyright 2018 Elsevier. Klikk her for å se en større versjon av dette tallet.

Figure 7
Figur 7: avhengighet av Jc på 0,3 T og 77 K på retningen på magnetiske feltet utlignet, i forhold til filmens normal retning. Rammemargen viser skjematisk diagram av threading dislokasjoner generert langs c-aksen i LSMO innredet (Gd) BCO tynn film. Gjengitt med tillatelse fra tidligere arbeid12. Copyright 2018 Elsevier. Klikk her for å se en større versjon av dette tallet.

Figure 7
Figur S1: bilde av RF sputtering systemet. Klikk her for å se en større versjon av dette tallet.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Discussion

or Start trial to access full content. Learn more about your institution’s access to JoVE content here

Her har vi vist at denne metoden kan brukes til å forberede LSMO ferromagnetisk nanopartikler av jevn fordeling på SrTiO3 (STO) én-krystall underlag. (Gd) BCO-filmer også kan settes på begge nakne og LSMO innredet STO substrat. Med en riktig justering av avsatt parametere, for eksempel vekst temperaturer og mål-underlaget avstand, bør denne metoden være nyttig for avsatt ulike magnetiske og ikke-magnetisk partikler eller lag, for eksempel CeO2, YSZ) yttrium-stabilisert zirconia)24og ITO (Indium tinn oksid).

En avgjørende skritt i protokollen er sputtering tiden til deponering av LSMO partikler. I protokollen kreves det lated sputtering tid. Hvis sputtering tiden er for lang, vil dette danne kontinuerlig LSMO tynnfilm ikke nanopartikler. Derimot, hvis sputtering tiden er for kort, tettheten av LSMO nanopartikler er ikke nok, og det påvirker gjeldende bærekapasiteten for topp GBCO filmer. For GBCO filmer, for å oppnå epitaxy, er bruk av en enkelt krystall underlaget nødvendig. I vårt tilfelle trenger LSMO nanopartikler ikke å oppnå epitaxy, men bare trenger større tetthet og riktig størrelse å forbedre beste GBCO superledende egenskaper. I denne rapporten brukes sputtering ganger til å styre ulike morfologi for LSMO nanopartikler.

Ettall ulempen av våre deponering kammer er at fordi det er ingen i situ QCM (kvartskrystall microbalance) sensor, vi ikke kan overvåke i sanntid filmen tykkelse og deponering under vekstprosessen. I vårt tilfelle, kan tykkelsen på GBCO filmer være kontrollert av sputtering ganger. Deponering er av GBCO filmer presenteres her ca 15 nm/min. Til slutt, som nevnt i innledningen, fabrikasjon av LSMO nanopartikler er vellykket oppnås ved enten metall organisk nedbrytning metoder (MOD) eller pulsed laser deponering metoder (PLD). Metoden PLD besitter tregere deponi priser og innebærer en større investering, mens MOD metoden resultater uniform partikkel distribusjon og lav reproduksjon. Om RF sputtering deponering, kan det gi partikler jevn fordeling og lavere investeringer med hensyn til PLD metoden. Også kan denne hydrogenion deponering prosedyren være skalert opp til coat større flater lett.

I konklusjonen, viser vi en RF sputtering metoden med å lage ferromagnetisk LSMO nanopartikler STO substrat og GBCO superledende film på bart og LSMO innredet STO substrat. Disse ferromagnetisk LSMO nanopartikler har aldri blitt syntetisert av RF sputtering deponering før. Denne RF sputtering metoden kan pels nanopartikler jevnt på SrTiO3 (STO) én-krystall underlag eller høy teksturert underlag med ulike partikkelstørrelse tetthet og størrelse17,25. Denne funksjonen gir mulighet for fremtidig bruk av RF sputtering ferromagnetisk nanopartikler i forbrukerelektronikk enheter på én-krystall underlag eller fleksibel og svært strukturert underlag.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Disclosures

Forfatterne ikke avsløre.

Acknowledgments

Dette arbeidet ble støttet av National Natural Science Foundation of China (nr. 51502168; No.11504227) og Shanghai kommunale Natural Science Foundation (No.16ZR1413600). Forfatterne takke takknemlig Instrumental analyse sentrum av Shanghai Jiao Tong og Ma-tek analytisk lab for kompetent teknisk assistanse.

Materials

Name Company Catalog Number Comments
Sputter Deposition System Shenyang scientific instruments Limited by Share Ltd Bespoke
SrTiO3 Single Crystal Substrate Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Single-sided epi-polished (001) orientation
La0.67Sr0.33MnO3 sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
GdBa2Cu3O7δ sputtering target Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd Bespoke 60 mm diameter
Atomic Force Microscope Brüker Dimension Icon
X-ray Diffractometer Brüker D8 Discover
Physical Property Measurement System Quantum Design PPMS 9

DOWNLOAD MATERIALS LIST

References

  1. Gong, J., Zheng, D., Li, D., Jin, C., Bai, H. Lattice distortion modified anisotropic magnetoresistance in epitaxial La0.67Sr0.33MnO3 thin films. Journal of Alloys and Compounds. 735, 1152-1157 (2018).
  2. Wang, J., Han, Z., Bai, J., Luo, B., Chen, C. Magnetoelectric coupling in oxygen deficient La0.67Sr0.33MnO3-δ/BaTiO3 composite film. Physica B: Condensed Matter. 534, 141-144 (2018).
  3. Duan, Z., et al. Facile fabrication of micro-patterned LSMO films with unchanged magnetic properties by photosensitive sol-gel method on LaAlO3 substrates. Ceramics International. 42, (12), 14100-14106 (2016).
  4. Xu, P., Huffman, T. J., Kwak, I. H., Biswas, A., Qazilbash, M. M. Temperature dependent infrared nano-imaging of La0.67Sr0.33MnO3 thin film. Journal of Physics-Condensed Matter. 30, (2), (2018).
  5. Bulaevskii, L. N., Chudnovsky, E. M., Maley, M. P. Magnetic pinning in superconductor-ferromagnet multilayers. Applied Physics Letters. 76, (18), 2594-2596 (2000).
  6. Chen, C. Z., et al. Flux pinning of stress-induced magnetic inhomogeneity in the bilayers of YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3−δ. Journal of Applied Physics. 106, (9), 093902 (2009).
  7. Chen, C. Z., et al. Robust high-temperature magnetic pinning induced by proximity in YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 hybrids. Journal of Applied Physics. 109, (7), 073921 (2011).
  8. Huang, J., et al. Magnetic properties of (CoFe2O4)x:(CeO2)1−x vertically aligned nanocomposites and their pinning properties in YBa2Cu3O7−δ thin films. Journal of Applied Physics. 115, (12), 123902 (2014).
  9. Lange, M., Bael, M. J. V., Bruynseraede, Y., Moshchalkov, V. V. Nanoengineered Magnetic-Field-Induced Superconductivity. Physical Review Letters. 90, (19), 197006 (1970).
  10. Rakshit, R. K., Budhani, R. C., Bhuvana, T., Kulkarni, V. N., Kulkarni, G. U. Inhomogeneous vortex-state-driven enhancement of superconductivity in nanoengineered ferromagnet-superconductor heterostructures. Physical Review B. 77, (5), 052509 (2008).
  11. Guo, H., Ward, T. Z. Fabrication of Spatially Confined Complex Oxides. Journal of Visualized Experiments. 77, e50573 (2013).
  12. Wang, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D. Improvement of flux pinning in GdBa2Cu3O7-delta thin film by nanoscale ferromagnetic La0.67Sr0.33MnO3 pretreatment of substrate surface. Ceramics International. 44, (1), 225-230 (2018).
  13. Martín, J. I., Vélez, M., Nogués, J., Schuller, I. K. Flux Pinning in a Superconductor by an Array of Submicrometer Magnetic Dots. Physical Review Letters. 79, (10), 1929-1932 (1997).
  14. Morgan, D. J., Ketterson, J. B. Asymmetric Flux Pinning in a Regular Array of Magnetic Dipoles. Physical Review Letters. 80, (16), 3614-3617 (1998).
  15. Gutierrez, J., et al. Anisotropic c-axis pinning in interfacial self-assembled nanostructured trifluoracetate-YBa2Cu3O7−x films. Applied Physics Letters. 94, (17), 172513 (2009).
  16. Tran, D. H., et al. Enhanced critical current density in GdBa2Cu3O7-δ thin films with substrate surface decoration using Gd2O3 nanoparticles. Thin Solid Films. 526, (0), 241-245 (2012).
  17. Jha, A. K., Khare, N., Pinto, R. Interface engineering using ferromagnetic nanoparticles for enhancing pinning in YBa2Cu3O7-delta thin film. Journal of Applied Physics. 110, (11), (2011).
  18. Casotti, D., et al. Ageing effects on electrical resistivity of Nb-doped TiO2 thin films deposited at a high rate by reactive DC magnetron sputtering. Applied Surface Science. 455, 267-275 (2018).
  19. Li, Y., et al. Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets. Ceramics International. 44, (14), 17530-17534 (2018).
  20. Mahdhi, H., Djessas, K., Ben Ayadi, Z. Synthesis and characteristics of Ca-doped ZnO thin films by rf magnetron sputtering at low temperature. Materials Letters. 214, 10-14 (2018).
  21. Shen, H., Wei, B., Zhang, D., Qi, Z., Wang, Z. Magnetron sputtered NbN thin film electrodes for supercapacitors. Materials Letters. 229, 17-20 (2018).
  22. Sinnarasa, I., et al. Influence of thickness and microstructure on thermoelectric properties of Mg-doped CuCrO2 delafossite thin films deposited by RF-magnetron sputtering. Applied Surface Science. 244-250 (2018).
  23. Thi-Thuy-Nga, N., Chen, Y. -H., Chen, Z. -M., Cheng, K. -B., He, J. -L. Microstructure near infrared reflectance, and surface temperature of Ti-O coated polyethylene terephthalate fabrics prepared by roll-to-roll high power impulse magnetron sputtering system. Thin Solid Films. 1-8 (2018).
  24. Wang, Y., Xu, D., Li, Y., Liu, L. Texture and morphology developments of Yttria-stabilized zirconia (YSZ) buffer layer for coated conductors by RF sputtering. Surface & Coatings Technology. 232, 497-503 (2013).
  25. Petrisor, T. Jr, et al. Magnetic pinning effects of epitaxial LaxSr1-xMnO3 nanostructured thin films on YBa2Cu3O7-delta layers. Journal of Applied Physics. 112, (5), (2012).
Radiofrekvens Magnetron Sputtering av GdBa<sub>2</sub>Cu<sub>3</sub>O<sub>7</sub><sub>−</sub><sub>ses</sub>/ La<sub>0,67</sub>Sr<sub>0,33</sub>MnO<sub>3</sub> kvasi bilayer filmer på SrTiO<sub>3</sub> (STO) én-krystall underlag
Play Video
PDF DOI DOWNLOAD MATERIALS LIST

Cite this Article

Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7−δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).More

Wang, Y., Li, Z., Liu, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D., Luo, X., Gao, T., Zhu, Y., Zhou, L., Xu, J. Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7δ/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates. J. Vis. Exp. (146), e58069, doi:10.3791/58069 (2019).

Less
Copy Citation Download Citation Reprints and Permissions
View Video

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
simple hit counter