Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal Engineering
Click here for the English version

Engineering

Grafen-Assisted Quasi-van der Waals Epitaxy of AlN Film on Nano-Patterned Sapphire Substrat for Ultraviolet Light Emitting Diodes

Published: June 25, 2020 doi: 10.3791/60167
Automatic Translation
*1,2, *3, 1,2, 1,2, 2,4, 1,2, 5, 1,2
1State Key Laboratory of Solid-State Lighting, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, 2Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Science, 3Center for Nanochemistry (CNC), Beijing National Laboratory for Molecular Science, College of Chemistry and Molecular Engineering, Peking University, 4State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, 5Electron Microscopy Laboratory, School of Physics, Peking University
* These authors contributed equally

Summary

Ett protokoll för grafen-assisted tillväxt av högkvalitativa AlN filmer på nano-mönstrade safir substrat presenteras.

Abstract

Detta protokoll visar en metod för grafen-assisted snabb tillväxt och kolescens av AlN på nano-pattened safir substrat (NPSS). Grafenskikt odlas direkt på NPSS med katalysatorfri kemisk ångdeposition (APCVD). Genom att tillämpa kvävereaktiv jonetsning (RIE) plasmabehandling, defekter införs i grafenfilmen för att förbättra kemisk reaktivitet. Under metall-organisk kemisk ånga nedfall (MOCVD) tillväxt av AlN, denna N-plasma behandlade grafen buffert möjliggör AlN snabb tillväxt, och kolescens på NPSS bekräftas av tvärsnittsundersökning elektronmikroskopi (SEM). Den höga kvaliteten på AlN på grafen-NPSS utvärderas sedan av röntgenrockkurvor (XRCs) med smal (0002) och (10-12) full bredd vid halvmaxal (FWHM) som 267,2 arcsec och 503,4 arcsec, respektive. Jämfört med nakna NPSS, AlN tillväxt på grafen-NPSS visar betydande minskning av kvarvarande stress från 0,87 GPa till 0,25 Gpa, baserat på Raman mätningar. Följt av AlGaN flera kvantbrunnar (MQWS) tillväxt på grafen-NPSS, AlGaN-baserade djupa ultravioletta ljus-avger-dioder (DUV lysdioder) är tillverkade. De tillverkade DUV-lysdioderna visar också uppenbara, förbättrade luminescensprestanda. Detta arbete ger en ny lösning för tillväxt av hög kvalitet AlN och tillverkning av högpresterande DUV-lysdioder med hjälp av en kortare process och lägre kostnader.

Introduction

AlN och AlGaN är de viktigaste materialen i DUV-lysdioder1,2, som har använts i stor utsträckning inom olika områden såsom sterilisering, polymer härdning, biokemisk detektion, icke-line-of-sight kommunikation, och särskild belysning3. På grund av bristen på inneboende substrat, AlN heteroepitaxy på safir substrat av MOCVD har blivit den vanligaste tekniska vägen4. Men den stora gitter obalans mellan AlN och safir substrat leder till stress ackumulering5,6, hög densitet dislokationer, och stapling fel7. Således minskas lysdiodernas interna kvanteffektivitet8. Under de senaste decennierna, med hjälp av mönstrade safir som substrat (PSS) för att inducera AlN epitaxial laterala överväxt (ELO) har föreslagits för att lösa detta problem. Dessutom har stora framsteg gjorts när det gäller ökningen av aln-mallarna9,,10,,11. Men med en hög ytvidhäftningskoefficient och bindningsenergi (2,88 eV för AlN) har al-atomer låg atomisk ytrörlighet, och tillväxten av AlN tenderar att ha ett tredimensionellt ötillväxtläge12. Således är epitaxial tillväxt av AlN-filmer på NPSS svårt och kräver högre kolescens tjocklek (över 3 μm) än på platta safir substrat, vilket orsakar längre tillväxttid och kräver höga kostnader9.

Nyligen visar grafen stor potential för användning som ett buffertskikt för AlN tillväxt på grund av dess sexkantiga arrangemang av sp2 hybridiserade kolatomer13. Dessutom kan aln-kvasi-van der Waals epitaxy (QvdWE) på grafen minska obalanseffekten och har banat väg för AlN-tillväxten14,15. För att öka den kemiska reaktiviteten hos grafen använde Chen et al. N2-plasmabehandladgrafen som ett buffertskikt och bestämde QvdWE av hög kvalitet AlN och GaN filmer8, som visar utnyttjandet av grafen som ett buffertskikt.

Kombinera N2-plasmabehandlade grafen technic med kommersiella NPSS substrat, presenterar detta protokoll en ny metod för snabb tillväxt och sammansmäxning av AlN på ett grafen-NPSS substrat. AlN:s helt smältningstjocklek på grafen-NPSS bekräftas vara mindre än 1 μm, och de epitaxiala AlN-skikten är av hög kvalitet och stressfrigjorda. Denna metod banar ett nytt sätt för AlN mall massproduktion och visar stor potential i tillämpningen av AlGaN-baserade DUV-lysdioder.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Protocol

VARNING: Flera av de kemikalier som används i dessa metoder är akut giftiga och cancerframkallande. Se alla relevanta materialsäkerhetsdatablad (MSDS) före användning.

1. Beredning av NPSS genom nanoimprint litografi (NIL)

  1. Deposition av SiO2 film
    1. Tvätta 2"c-planet platt safir substrat med etanol följt av avjoniserat vatten tre gånger.
    2. Torka substratet med en kvävepistol.
    3. Insättning 200 nm SiO2 film på den platta safirsubstratet genom plasmaförstärkt kemiskt ångdeposition (PECVD) under 300 °C. Depositionshastigheten är 100 nm/min.
  2. Spinning nanoimprint motstå
    1. Tvätta safirsubstratet med etanol följt av avjoniserat vatten 3x.
    2. Torka substratet med en kvävepistol.
    3. Snurra ett 200 nm nanoimprintmotstånd (NIR) TU-2 på det platta safirsubstratet vid 3000 r/min i 60 s.
  3. Termoplastisk prägling
    1. Placera en mönstrad form på nanoimprint motstå polymerfilm.
    2. Applicera högt tryck som 30 bar vid 60 °C för att värma safirsubstratet till över polymerens glasövergångstemperatur.
    3. Exponera för ultraviolett bestrålning i 60 s och underhåll i 120 s efter att uv-källan har slagits fast för att stelna NPR TU-2.
    4. Kyl ner safirsubstratet och mögel till rumstemperatur (RT).
    5. Släpp formen.
  4. Mönsteröverföring
    1. Etsa safirsubstratet som exponeras från nanohålen på NIR genom induktiv kopplad plasmareaktiv jonetsning (ICP-RIE) med BCl3 för att överföra mönstret till safirsubstratet. Etsningseffekten är 700 W och etsningstiden är 3 min.
    2. Ta bort resterande NPR TU-2 genom O2 plasmaetsning i ett RIE-system i 20 s. Etsningstrycket är 5 mTorr och etsningseffekten är 100 W. Slutligen är bredden på de oetchade regionerna 300 nm och djupet är 400 nm. Perioden av mönster är 1 μm.
      OBS: NIL är inte det enda sättet att få NPSS. NPSS kommersialiseras och kan köpas någon annanstans.

2. APCVD tillväxt av grafen på NPSS

  1. Skölj NPSS med aceton, etanol och avjoniserat vatten 3x.
  2. Torka NPSS med en kvävepistol.
  3. Lasta NPSS i en högtemperaturugn med tre zoner för lång, plan temperaturzon. Värm ugnen till 1050 °C och stabilisera i 10 min under 500 fmcm Ar och 300 fmcm H2
  4. Sätt in 30 fmcm CH4 i reaktionskammaren för tillväxt av grafen på NPSS för 3 h. Efter tillväxten av grafen, stäng av CH4 och naturligt svalna.

3. N2-plasmabehandling

  1. Skölj grafen-NPSS med avjoniserat vatten.
  2. Torka NPSS med en kvävepistol.
  3. Etsa grafen-NPSS av N2-plasma med en N2 flödeshastighet på 300 fmcm för 30 s och effekt på 50 W i en reaktiv jonetsning (RIE) kammare.

4. MOCVD tillväxt av AlN på grafen-NPSS

  1. Redigera MOCVD receptet för AlN tillväxt och ladda grafen-NPSS och dess NPSS motsvarighet i den hemlagade MOCVD kammaren.
  2. Efter uppvärmning i 12 min stabiliseras temperaturen vid 1200 °C. Införa 7000 fmcm H2 som omgivande, 70 sccm trimethylaluminum (TMAl), och 500 fmcm NH3 för tillväxten av AlN för 2 h.

5. MOCVD tillväxt av AlGaN MQWs

  1. Sänk temperaturen på MOCVD-kammaren till 1130 °C för att växa 20-period AlN (2 nm)/Al0,6Ga0,4N (2 nm) lagersupervatten (SL) med periodiska förändringar i TMAl-flödet för att justera depositionskomponenten. Den omgivande gasen är H2. Mole flödeshastigheter av TMAl, TMGa, och NH3 för AlN är 50 sccm, 0 sccm, och 1000 fmcm; och för AlGaN är 32 fmcm, 7 sccm, och 2.500 fmcm, respektive.
  2. Sänk temperaturen på MOCVD-kammaren till 1002 °C och införa ett siliketflöde för tillväxten av ett 1,8 μm n-Al0,55Ga0,45N-skikt. Den omgivande gasen är H2 och koncentrationen av n-typ AlGaN är 5 x 1018 cm-3.
  3. Väx 5-period Al0,6Ga0,4N (3 nm)/Al0,5Ga0,5N (12 nm) MQWs genom att byta TMAl från 24 fmcm till 14 fmcm, och TMGa från 7 sccm till 8 fmcm, för varje period vid 1002 °C. Den omgivande gasen är H2.
  4. Insättning 50 nm Mg-dopade p- Al0,65Ga0,35N elektronblockeringsskikt (EBL) vid 1002 °C. Mole flödeshastigheter av TMAl, TMGa, och NH3 är 40 sccm, 6 sccm, och 2500 fmcm. Den omgivande gasen är H2.
  5. Sätt in 30 nm p-Al0,5Ga0,5N beklädnadsskikt med NH3 flöde av 2500 fmcm. Den omgivande gasen är H2.
  6. Sätt in 150 nm p-GaN kontaktskikt med ett NH3-flöde på 2500 fmcm. Den omgivande gasen är H2. Mole flödeshastigheter av TMGa och NH3 är 8 sccm och 2500 sccm. Hålkoncentrationen av p-AlGaN är 5,4 x 1017 cm-3.
  7. Sänk temperaturen på MOCVD-kammaren till 800 °C och glödga p-skikten med N2 i 20 min. Den omgivande gasen är N2.

6. Tillverkning av AlGaN-baserade DUV-lysdioder

  1. Spinning photoresist 4620 på wafers och litografi. UV-exponeringstiden, utvecklingstiden och sköljtiden är 8 s, 30 s respektive 2 min.
  2. ICP etsning av p-GaN. Etsningseffekten, etsningstrycket och etsningshastigheten för GaN är 450 W, 4 m Torr respektive 5,6 nm/s.
  3. Lägg provet i aceton vid 80 °C i 15 min följt av tvättning av provet med etanol och avjoniserat vatten 3x.
  4. Spinning negativ fotoresist NR9 och litografi. UV-exponeringstiden, utvecklingstiden och sköljtiden är 12 s, 20 s respektive 2 min.
  5. Tvätta provet med aceton, etanol och avjoniserat vatten 3x.
  6. Insättning Ti/Al/Ti/Au med elektronstråle (EB) avdunstning.
  7. Snurra negativa fotoresist NR9 och litografi. UV-exponeringstiden, utvecklingstiden och sköljtiden är 12 s, 20 s respektive 2 min.
  8. Tvätta provet med aceton, etanol och avjoniserat vatten 3x utan ultraljud.
  9. Sätt in Ni/Au genom EB-avdunstning.
  10. Tvätta provet med etanol och avjoniserat vatten 3x för att rengöra provet.
  11. Insättning 300 nm SiO2 av plasma förbättrad kemisk ånga nedfall (PECVD). Depositionstemperaturen är 300 °C och nedfallshastigheten är 100 nm/min.
  12. Spin photoresist 304 och litografi. UV-exponeringstiden, utvecklingstiden och sköljtiden är 8 s, 1 min respektive 2 min.
  13. Sänk ner plattorna i 23% HF-lösning för 15 s.
  14. Tvätta provet med etanol och avjoniserat vatten 3x och torka med en kvävepistol.
  15. Insättning Al / Ti / Au av EB avdunstning efter fotolitografi. Fotolitografiprocessen är densamma som i steg 6.4-6.7.
  16. Tvätta provet med etanol och avjoniserat vatten 3x.
  17. Slipa och polera safiren till 130 μm genom mekanisk polering.
  18. Tvätta provet med dewaxing lösning och avjoniserat vatten.
  19. Skär hela rånet i bitar av 0,5 mm x 0,5 mm enheter med en laser och skär den i flis med hjälp av en mekanisk tärningsapparat.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Representative Results

Scanning elektronmikroskopi (SEM) bilder, röntgen diffraktion gunga kurvor (XRC), Raman spektra, transmission elektronmikroskopi (TEM) bilder och elektroluminiscens (EL) spektrum samlades in för epitaxial AlN film(figur 1, figur 2) och AlGaN-baserade DUV-lysdioder(figur 3). SEM och TEM används för att bestämma aln:s morfologi på grafen-NPSS. XRD och Raman används för att beräkna störningstätheten och restspänningen. EL används för att illustrera belysningen av de tillverkade DUV-lysdioderna.

Figure 1
Figur 1: Tillväxt av AlN-film på N2 plasmabehandlat grafen-NPSS substrat.
(A)SEM bild av den nakna NPSS. Infällda visar linjeprofilen för mönstren för NPSS av AFM. b)SEM-bild av de odlade grafenfilmerna på NPSS. (C)Raman spektra av grafenfilm före N2 plasmabehandling (svart) och efter N2 plasmabehandling (röd). (D, F)är SEM-bilderna av den ursprungliga 10 min och 2 h tillväxten av AlN-filmer på NPSS utan grafen mellanskikt. (E och G) är SEM-bilderna av de första 10 min och 2 h tillväxt AlN-filmerna på NPSS med grafen mellanskikt. H, I) är tvärsnittsbilder av ALN-filmer på NPSS utan och med grafen mellanskikt. Denna siffra har ändrats från Chang et al.20. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 2
Figur 2: Karakterisering av AlN som odlas på N2 plasmabehandlat grafen-NPSS-substrat.
XRC av(A)(0002) och(B)(102) för AlN-filmer som odlas på NPSS med och utan grafen mellanskikt. (C)Raman spektra av AlN-lager som odlas på NPSS med och utan grafen mellanskikt. (D)HRTEM-bild av AlN/grafen/NPSS-gränssnittet. (E, F) är SAED-mönster som hämtats från AlN-skiktet och gränssnittet mellan AlN och grafen/NPSS. G)TEM-bilder med ljust fält av AlN som odlas på grafen/NPSS med g = [0 Equation 1 10]. Denna siffra har ändrats från Chang et al.20. Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Figure 3
Bild 3: Prestandan hos as-fabricerade DUV-LED.
(A)Schematiskt diagram över den AlGaN-baserade DUV-LED-strukturen. (B)EL-spektra för DUV-lysdioderna med och utan grafen mellanskikt. Denna siffra har ändrats från Chang et al.20Klicka här för att se en större version av denna siffra.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Discussion

Som visas i figur 1Aillustrerar NPSS som utarbetats av NIL-tekniken de nanokoniga konmönstren med 400 nm djup, 1 μm mönsterperiod och 300 nm bredd i de otorkade regionerna. Efter APCVD-tillväxten av grafenskiktet visas grafen-NPSS i figur 1B. Den signifikanta ökade D-toppen av N-plasmabehandlad grafen i Raman spektra Figur 1C visar ökningen av dinglande bindningar som genereras under RIE-processen16. Efter direkt MOCVD-tillväxt av AlN i 10 min visar figur 1D 3D-tillväxt av oregelbundna AlN-öar på nakna NPSS medan figur 1E visar ett lateralt 2D-sätt och snabb sammansmäljning av AlN på grafen-NPSS. Efter 2 h tillväxt blir aln-filmens yta på grafen-NPSS kontinuerlig och platt (figur 1G) på grund av den snabba laterala tillväxten och snabba sammanslagningen av AlN på grafen. Tvärtom visar figur 1F den grova ytan av AlN som odlas direkt på kal NPSS. Från de tvärsnittsbaserade SEM-bilderna av det odlade AlN på NPSS och grafen-NPSS som visas i figur 1H,Iframgår det också att AlN med hjälp av grafen mellanskiktet visar snabb kolescens på grafen-NPSS.

(0002) och (10 Equation 1 2) XRC för AlN-filmer som visas i figur 2A,B bekräftar den höga kvaliteten på det aln som odlas på grafen-NPSS. med signifikant minskningar i FWHM XRC från 455,4 arcsec till 267,2 arcsec och 689,2 arcsec till 503.4 arcsec, respektive, jämfört med AlN odlas på nakna NPSS. Således är den uppskattade tätheten av skruv förskjutningar av AlN på nakna NPSS 4,51 x 108 cm-2, vilket reduceras till 1,55 x 108 cm-2 med hjälp av grafen. Dessa resultat visar förbättringskvaliteten på AlN på NPSS med en grafenbuffert, som är mer lämplig för DUV-lysdioder17.

Ramanspektrumet av E2-foonläge för AlN (figur 2C), som är känsligt för biaxialstressen18, visar stressutsläppt AlN på grafen-NPSS med E2-toppen belägen vid 658,3 cm-1, närmare den stressfria AlN (657,4 cm-1), jämfört med AlN på den nakna NPSS (660,6 cm-1). Den kvarvarande stress som uppskattas baserat på Ramanspektra visar signifikant minskas från 0,87 GPa till 0,25 GPa med hjälp av grafen. 19 år .

Figur 2D visar en HRTEM-bild av AlN/graphene/NPSS-gränssnittet med jämn epitaxy av AlN på NPSS med hjälp av grafen, som anger quasi-van der Waals epitaxy av AlN. Figur 2E visar det valda området elektron diffraktion (SAED) mönster av AlN, visar att den som odlas AlN på grafen-NPSS är wurtzite struktur. Kristallorienteringen ligger längs c-axeln. Som visas i figur 2Fär orienteringsförhållandet mellan AlN och Al2O3 följande: (0002) AlN/(0006) Al2O3 och (0 Equation 1 10) AlN/( Equation 2 20) Al2O3. Figur 2G visar bildandet av lufthålighet över kottar under den laterala tillväxten av AlN. Vissa dislokationer nära tomrummet böja och förinta vid klimax av tomrum; således reduceras den gängning störningstätheten av AlN. TEM-mätningarna förklarar den frigjorda stressen och den minskade störningstätheten hos AlN på grafen på grund av QvdWE-tillväxt.

EL-spektrum(figur 3B)av AlGaN-baserade DUV-LYSDIODER på grafen-NPSS visar 2,6 x starkare luminescence vid en toppvåglängd på 280 nm och ström på 40 mA, jämfört med den nakna NPSS. Protokollet visar en metod för tillväxt av hög kvalitet stress-släppt AlN filmer på NPSS med hjälp av CVD-tillväxt grafen mellanskiktet av MOCVD. N2 plasmabehandling förbättrar den kemiska reaktiviteten hos grafen och realiserrar QvdWE-tillväxten av AlN. Den selektiva tillväxten av grafen på NPSS motiverar dock fortfarande fördjupade studier. Med denna metod ökar också aln:s tillväxt och kolescensgrad vid NPSS, vilket är nödvändigt för massproduktion med lägre kostnader och förkortade tidskrav. AlN-mallen som odlas på grafen-NPSS visar stor potential i tillämpningen av AlGaN-baserade DUV-lysdioder.

Subscription Required. Please recommend JoVE to your librarian.

Disclosures

Författarna har inget att avslöja.

Acknowledgments

Detta arbete fick ekonomiskt stöd av National Key R&D Program of China (nr 2018YFB0406703), National Natural Science Foundation of China (nr 61474109, 61527814, 11474274, 61427901) och Beijing Natural Science Foundation (nr 4182063)

Materials

Name Company Catalog Number Comments
Acetone,99.5% Bei Jing Tong Guang Fine Chemicals company 1090
APCVD Linderberg Blue M
EB AST Peva-600E
Ethonal,99.7% Bei Jing Tong Guang Fine Chemicals company 1170
HF,40% Beijing Chemical Works 1789
ICP-RIE AST Cirie-200
MOCVD VEECO P125
PECVD Oerlikon 790+
Phosphate,85% Beijing Chemical Works 1805
Sulfuric acid,98% Beijing Chemical Works 10343

DOWNLOAD MATERIALS LIST

References

  1. Sakai, Y., et al. Demonstration of AlGaN-Based Deep-Ultraviolet Light-Emitting Diodes on High-Quality AlN Templates. Jappanese Journal of Applied Physics. 49, 022102 (2010).
  2. Yun, J., Hirayama, H. Investigation of the light-extraction efficiency in 280 nm AlGaN-based light-emitting diodes having a highly transparent p-AlGaN layer. Journal of Applied Physics. 121, 013105 (2017).
  3. Khan, A., Balakrishnan, K., Katona, T. Ultraviolet light-emitting diodes based on group three nitrides. Nature Photonics. 2, 77-84 (2008).
  4. Balushi, Z. Y. A., et al. The impact of graphene properties on GaN and AlN nucleation. Surface Science. 634, 81-88 (2015).
  5. Motoki, K., et al. Growth and characterization of freestanding GaN substrates. Journal of Crystal Growth. 237, 912-921 (2002).
  6. Kim, Y., et al. Remote epitaxy through graphene enables two-dimensional material-based layer transfer. Nature. 544, 340-343 (2017).
  7. Hemmingsson, C., Pozina, G. Optimization of low temperature GaN buffer layers for halide vapor phase epitaxy growth of bulk GaN. Journal of Crystal Growth. 366, 61-66 (2013).
  8. Chen, Z., et al. High-Brightness Blue Light-Emitting Diodes Enabled by a Directly Grown Graphene Buffer Layer. Advanced Materials. 30, 1801608 (2018).
  9. Dong, P., et al. 282-nm AlGaN-based deep ultraviolet light-emitting diodes with improved performance on nano-patterned sapphire substrates. Applied Physics Letters. 102, 241113 (2013).
  10. Imura, M., et al. Epitaxial lateral overgrowth of AlN on trench-patterned AlN layers. Journal of Crystal Growth. 298, 257-260 (2007).
  11. Kueller, V., et al. Growth of AlGaN and AlN on patterned AlN/sapphire templates. Journal of Crystal Growth. 315, 200-203 (2011).
  12. Kneissl, M., et al. Advances in group III-nitride-based deep UV light-emitting diode technology. Semiconductor Science & Technology. 26, 014036 (2010).
  13. Kunook, C., Chul-Ho, L., Gyu-Chul, Y. Transferable GaN layers grown on ZnO-coated graphene layers for optoelectronic devices. Science. 330, 655-657 (2010).
  14. Kim, J., et al. Principle of direct van der Waals epitaxy of single-crystalline films on epitaxial graphene. Nature Communications. 5, 4836 (2014).
  15. Han, N., et al. Improved heat dissipation in gallium nitride light-emitting diodes with embedded graphene oxide pattern. Nature Communications. 4, 1452 (2013).
  16. Gupta, P., et al. MOVPE growth of semipolar III-nitride semiconductors on CVD graphene. Journal of Crystal Growth. 372, 105-108 (2013).
  17. Heinke, H., Kirchner, V., Einfeldt, S., Hommel, D. X-ray diffraction analysis of the defect structure in epitaxial GaN. Appllied Physics Letters. 77, 2145-2147 (2000).
  18. Lughi, V., Clarke, D. R. Defect and Stress Characterization of AlN Films by Raman Spectroscopy. Appllied Physics Letters. 89, 2653 (2006).
  19. Li, Y., et al. Van der Waals epitaxy of GaN-based light-emitting diodes on wet-transferred multilayer graphene film. Jappanese Journal of Applied Physics. 56, 085506 (2017).
  20. Chang, H., et al. Graphene-assisted quasi-van der Waals epitaxy of AlN film for ultraviolet light emitting diodes on nano-patterned sapphire substrate. Applled Physics Letters. 114, 091107 (2019).

Tags

Engineering grafen MOCVD AlN ultraviolett ljus avger dioder van der Waals epitaxy nano-mönstrade safirsubstrat
Grafen-Assisted Quasi-van der Waals Epitaxy of AlN Film on Nano-Patterned Sapphire Substrat for Ultraviolet Light Emitting Diodes
Play Video
PDF DOI DOWNLOAD MATERIALS LIST

Cite this Article

Zhang, X., Chen, Z., Chang, H., Yan, … More

Zhang, X., Chen, Z., Chang, H., Yan, J., Yang, S., Wang, J., Gao, P., Wei, T. Graphene-Assisted Quasi-van der Waals Epitaxy of AlN Film on Nano-Patterned Sapphire Substrate for Ultraviolet Light Emitting Diodes. J. Vis. Exp. (160), e60167, doi:10.3791/60167 (2020).

Less
Copy Citation Download Citation Reprints and Permissions
View Video

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter