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마이크로 및 Submicron 패턴 폴리머 기판을 생성하기위한 리소그래피를 Micropunching
 
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마이크로 및 Submicron 패턴 폴리머 기판을 생성하기위한 리소그래피를 Micropunching

Article DOI: 10.3791/3725-v 09:24 min July 2nd, 2012
July 2nd, 2012

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micropunching 리소그래피 방식이 생성하는 마이크로와 submicron 패턴 위, 측벽 및 폴리머 기판의 바닥 표면을 개발하고 있습니다. 그것은 patterning이 폴리머를 실시하고 측벽 패턴을 생성하는 장애물을 극복. 이 방법은 여러 기능의 신속한 제조가 가능하며 적극적인 화학 무료입니다.

Tags

기계 공학 이슈 65 물리 micropunching 리소그래피 전도 고분자 나노 와이어 측벽 패턴 microlines
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