Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

Real-Time DC-dynamisk Prioritering Metode til Switching Time Forbedring Alvorligt Underdamped Fringing-felt Elektrostatiske MEMS aktuatorer
 
Click here for the English version

Real-Time DC-dynamisk Prioritering Metode til Switching Time Forbedring Alvorligt Underdamped Fringing-felt Elektrostatiske MEMS aktuatorer

Article DOI: 10.3791/51251-v 11:44 min August 15th, 2014
August 15th, 2014

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Den robuste enhed design sløring-field elektrostatiske MEMS aktuatorer resultater i sagens natur lavt squeeze-film dæmpning forhold og lange bosætter tidspunkter, hvor du udfører rangering ved hjælp af konventionelle trin påvirke. Real-time skifte tid forbedring med DC-dynamiske kurver reducerer afvikling tid af sløring felt MEMS aktuatorer, hvor der skiftes mellem op-til-ned og nede-på-up stater.

Tags

Fysik mikroelektromekaniske systemer aktuatorer skifte tid settling tid elektrostatiske enheder mikro tyndfilm-enheder
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter