Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Den robuste enhed design sløring-field elektrostatiske MEMS aktuatorer resultater i sagens natur lavt squeeze-film dæmpning forhold og lange bosætter tidspunkter, hvor du udfører rangering ved hjælp af konventionelle trin påvirke. Real-time skifte tid forbedring med DC-dynamiske kurver reducerer afvikling tid af sløring felt MEMS aktuatorer, hvor der skiftes mellem op-til-ned og nede-på-up stater.