JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Den robusta enheten design plym-fältelektro MEMS ställdon resultat i sig låga squeeze-film dämpningsförhållanden och långa lösa tider när du utför omkopplingar som använder konventionell steg polarisering. Realtids tid för att byta förbättring med DC-dynamiska vågformer reducerar inställningstid för plym-fältet MEMS ställdon vid övergången mellan dig ner och ner-till-up stater.