Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

वास्तविक समय डीसी गतिशील Biasing विधि गंभीर रूप Underdamped Fringing क्षेत्र इलेक्ट्रोस्टैटिक MEMS actuators में समय सुधार स्विचिंग के लिए
 
Click here for the English version

वास्तविक समय डीसी गतिशील Biasing विधि गंभीर रूप Underdamped Fringing क्षेत्र इलेक्ट्रोस्टैटिक MEMS actuators में समय सुधार स्विचिंग के लिए

Article DOI: 10.3791/51251-v 11:44 min August 15th, 2014
August 15th, 2014

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

स्वाभाविक कम दबाव फिल्म भिगोना शर्तों और लंबे समय से निपटाने के बार में fringing क्षेत्र इलेक्ट्रोस्टैटिक MEMS actuators परिणामों की मजबूत डिवाइस डिजाइन पारंपरिक कदम biasing का उपयोग कर स्विचन कार्रवाई कर जब. के बीच संक्रमण जब डीसी गतिशील waveforms के साथ समय सुधार स्विचन वास्तविक समय fringing क्षेत्र के निपटाने के समय को कम कर देता actuators MEMS के लिए नीचे से ऊपर और नीचे करने वाली अप राज्यों.

Tags

भौतिकी अंक 90 microelectromechanical सिस्टम actuators समय स्विचन व्यवस्थित समय इलेक्ट्रोस्टैटिक उपकरणों micromachining पतली फिल्म उपकरणों
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter