Real-Time DC-dynamiska Polarisering Metod för Växlingstid Förbättring Svårt underdämpat Frans-fält Elektro MEMS ställdon

Den robusta enheten design plym-fältelektro MEMS ställdon resultat i sig låga squeeze-film dämpningsförhållanden och långa lösa tider när du utför omkopplingar som använder konventionell steg polarisering. Realtids tid för att byta förbättring med DC-dynamiska vågformer reducerar inställningstid för plym-fältet MEMS ställdon vid övergången mellan dig ner och ner-till-up stater.