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Leicht verbesserte Flusssäure Passivierung
 
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Leicht verbesserte Flusssäure Passivierung: eine empfindliche Technik zum Nachweis von Bulk-Silizium-Defekte

Article DOI: 10.3791/53614-v 09:15 min January 4th, 2016
January 4th, 2016

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A RT flüssige Oberflächenpassivierung Technik, um die Rekombination Aktivität von Bulk-Silizium-Defekte zu untersuchen beschrieben. Für die Technik erfolgreich ist, drei kritische Schritte erforderlich sind: (i) chemische Reinigen und Ätzen von Silizium, (ii) Eintauchen des Silizium in 15% Fluorwasserstoffsäure und (iii) Beleuchtungs für 1 min.

Tags

Engineering Ausgabe 107 Volumenlebensdauer Defekte Flusssäure Beleuchtung Passivierung Photoleitfähigkeit Rekombination.
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