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Utilisation de rayonnement synchrotron Microtomographie d'enquêter sur Multi-échelle Forfaits microélectroniques en trois dimensions
 
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Utilisation de rayonnement synchrotron Microtomographie d'enquêter sur Multi-échelle Forfaits microélectroniques en trois dimensions

Article DOI: 10.3791/53683
April 13th, 2016

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Summary April 13th, 2016

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Pour cette étude, le rayonnement synchrotron micro-tomographie, une technique d'imagerie non destructive en trois dimensions, est utilisé pour étudier un ensemble de micro-électronique avec une aire en coupe transversale de 16 x 16 mm. En raison de flux élevé et la luminosité du synchrotron l'échantillon a été imagé en seulement 3 min avec une résolution spatiale de 8,7 um.

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