JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Til denne undersøgelse synkrotronstråling mikro-tomografi, en ikke-destruktiv tredimensional billeddannelse teknik, der anvendes til at undersøge en hel mikroelektroniske pakke med en tværsnitsareal på 16 x 16 mm. På grund af synkrotronen høje flux og lysstyrke prøven blev afbildet på bare 3 minutter med en 8,7 um rumlig opløsning.