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Chemistry

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Crescita epitassiale di perovskite titanato di stronzio su Germanio via Atomic Layer Deposition
 
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Crescita epitassiale di perovskite titanato di stronzio su Germanio via Atomic Layer Deposition

Article DOI: 10.3791/54268
July 26th, 2016

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Summary July 26th, 2016

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Dettagli Questo lavoro le procedure per la crescita e caratterizzazione di SrTiO cristallina 3 direttamente su substrati germanio per deposizione strato atomico. La procedura illustra la capacità di un metodo di crescita all-chimico per integrare ossidi monoliticamente su semiconduttori per dispositivi a semiconduttore metallo-ossido.

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