JoVE Journal
Chemistry
Chemistry
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Detta arbete beskrivs de förfaranden för tillväxt och karakterisering av kristallint SrTiOa 3 direkt på germanium substrat genom atomlager nedfall. Förfarandet illustrerar förmågan hos en allt-kemisk tillväxt metod för att integrera oxider monolitiskt på halvledare för metalloxidhalvledaranordningar.