Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Chemistry

A subscription to JoVE is required to view this content.

Epitaxiell tillväxt av Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition
 
Click here for the English version

Epitaxiell tillväxt av Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition

Article DOI: 10.3791/54268-v 09:45 min July 26th, 2016
July 26th, 2016

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Detta arbete beskrivs de förfaranden för tillväxt och karakterisering av kristallint SrTiOa 3 direkt på germanium substrat genom atomlager nedfall. Förfarandet illustrerar förmågan hos en allt-kemisk tillväxt metod för att integrera oxider monolitiskt på halvledare för metalloxidhalvledaranordningar.

Tags

Kemi atomlager nedfall perovskit strontiumtitanat SrTiOa Germanium epitaxi kristallin oxid
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter