Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

Изготовление трехмерных углеродных микроэлектромеханических систем (C-MEMS)
 
Click here for the English version

Изготовление трехмерных углеродных микроэлектромеханических систем (C-MEMS)

Article DOI: 10.3791/55649-v 08:01 min June 17th, 2017
June 17th, 2017

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Длинные и полые стеклообразные углеродные микроволокна были изготовлены на основе пиролиза натурального продукта, человеческого волоса. Двумя стадиями изготовления углеродных микроэлектромеханических и углеродных наноэлектромеханических систем, или С-МЭМС и С-НЭМС, являются: (i) фотолитография богатого углеродом предшественника полимера и (ii) пиролиз предшественника узорчатого полимера.

Tags

Engineering Carbon-MEMS / NEMS стеклоуглерод изготовление литография пиролиз SU8 фоторезист человеческие волосы.
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter