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Design und Charakterisierung Methodik für effiziente Weitbereichs-abstimmbaren MEMS-Filter
 
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Design und Charakterisierung Methodik für effiziente Weitbereichs-abstimmbaren MEMS-Filter

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

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Ein Protokoll für eine feste-feste Strahl-Design mit einem Laser Doppler Vibrometer (LDV), einschließlich der Messung der Frequenz tuning, Modifikation des Tunings-Fähigkeit und Vermeidung von Geräteausfall und Stiction, wird vorgestellt. Die Überlegenheit der LDV-Methode über die Netzwerk-Analyzer ist aufgrund seiner höheren Modus Fähigkeit unter Beweis gestellt.

Tags

Technik Ausgabe 132 mikroelektromechanische Systeme (MEMS) Filter ergänzende Metall-Oxid-Halbleiter (CMOS)-MEMS Microresonator zahlreiche aktive Frequenz tuning High-Modus Resonanz Joule Heizung Stiction laser-Doppler-Vibrometer () LDV)
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