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Progettazione e nella metodologia di caratterizzazione per efficiente ampio intervallo sintonizzabile MEMS filtri
 
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Progettazione e nella metodologia di caratterizzazione per efficiente ampio intervallo sintonizzabile MEMS filtri

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

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Un protocollo per un design fisso-fisso larghezza utilizzando un vibrometro laser Doppler (LDV), compresa la misurazione della frequenza di sintonizzazione, modifica di tuning capacità e l'evitare malfunzionamenti e attrito statico, è presentato. Grazie alla sua superiore capacità di modalità è dimostrata la superiorità del metodo LDV sopra l'analizzatore di rete.

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Filtri di ingegneria problema 132 Microelectromechanical systems (MEMS) (CMOS) complementary metal-oxide semiconductor-MEMS microrisonatore vasta gamma frequenza attiva tuning modalità di alta risonanza Joule riscaldamento attrito statico laser Doppler vibrometro ( LDV)
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