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설계 및 효율적인 넓은 범위 가변 MEMS 필터 특성 방법론
 
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설계 및 효율적인 넓은 범위 가변 MEMS 필터 특성 방법론

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

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레이저 도플러 신발 (LDV), 튜닝, 튜닝 기능, 및 장치 실패 및 stiction, 회피의 수정 하는 주파수 측정을 포함 하 여를 사용 하는 고정-고정 빔 디자인에 대 한 프로토콜 제공 됩니다. 네트워크 분석기를 통해 LDV 방법의 우수성 때문에 그것의 더 높은 모드 기능 시연입니다.

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공학 문제점 132 Microelectromechanical 시스템 (MEMS) 필터 상보성 금속 산화물 반도체 (CMOS)-MEMS microresonator 다양 한 활성 주파수 튜닝 높은 모드 공명 줄 난방 stiction 레이저 도플러 신발 ( LDV)
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