Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering
Author Produced

A subscription to JoVE is required to view this content.

Tasarım ve karakterizasyon yöntemleri verimli geniş sıra Tunable MEMS filtreler için
 
Click here for the English version

Tasarım ve karakterizasyon yöntemleri verimli geniş sıra Tunable MEMS filtreler için

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Tuning, tuning yeteneklilik ve kaçınma aygıt hatası ve stiction, değişiklik frekans ölçümü de dahil olmak üzere bir lazer Doppler vibrometer (LDV), kullanarak sabit-sabit ışın dizaynı için bir protokol sunulmuştur. LDV yöntemi ağ Çözümleyicisi üzerinde üstünlüğü nedeniyle daha yüksek modu kapasitesini gösterilmiştir.

Tags

Mühendisliği sayı: 132 mikroelektromekanik sistemler (MEMS) filtreleri tamamlayıcı metal oksit yarı iletkeni (CMOS)-MEMS microresonator geniş aktif frekans ayarlama yüksek modu rezonans Joule Isıtma stiction lazer Doppler vibrometer () LDV)
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter