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Projeto e metodologia de caracterização para filtros de MEMS sintonizável eficiente gama
 
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Projeto e metodologia de caracterização para filtros de MEMS sintonizável eficiente gama

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

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Um protocolo para um projeto de feixe fixo-fixo usando um vibrômetro laser Doppler (LDV), incluindo a medição da frequência de sintonia, modificação do ajuste de capacidade e evitar a falha do dispositivo e stiction, é apresentado. A superioridade do método sobre o analisador de rede LDV é demonstrada devido à sua capacidade de modo mais elevada.

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Filtros de engenharia edição 132 Microeletromecânicos (MEMS) de sistemas semicondutor de óxido metálico complementar (CMOS)-MEMS microresonator ajuste de frequência ativa ampla gama modo de alta ressonância aquecimento stiction Joule (vibrômetro Doppler a laser LEONARDO DA VINCI)
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