Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering
Author Produced

A subscription to JoVE is required to view this content.

Design och karakterisering metod för effektiv Wide Range avstämbara MEMS filter
 
Click here for the English version

Design och karakterisering metod för effektiv Wide Range avstämbara MEMS filter

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Ett protokoll för en fast-fast beam design använder en laser Doppler vibrometer (LDV), inklusive mätning av frekvens tuning, modifiering av tuning förmåga, och undvikande av enhetsfel och stiction, presenteras. Överlägsenheten av metoden LDV över nätanalysator demonstreras på grund av dess högre mode förmåga.

Tags

Engineering fråga 132 mikroelektromekaniska system (MEMS) filter kompletterande metal-oxide semiconductor (CMOS)-MEMS microresonator rad aktiva frekvensinställning hög-mode resonans Joule värme stiction laser Doppler vibrometer () LDV)
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter