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큰 지역 수직 2D 크리스탈 Hetero-구조 장치 제조에 전이 금속 영화 Sulfurization의 준비
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큰 지역 수직 2D 크리스탈 Hetero-구조 장치 제조에 전이 금속 영화 Sulfurization의 준비

Article DOI: 10.3791/56494-v • 08:50 min • November 28th, 2017
November 28th, 2017 •
1,2, 2,3, 1,2, 1,2
1Graduate Institute of Electronics Engineering, National Taiwan University, 2Research Center for Applied Sciences, Academia Sinica, 3Graduate Institute of Photonics and Optoelectronics, National Taiwan University

Chapters

Summary
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미리 입금된 전이 금속 sulfurization를 통해 큰 지역 및 수직 2D 크리스탈 이종 구조 날조 될 수 있다. 영화 전송 및 장치 제조 절차는 또한이 보고서에 설명 했다.

Tags

공학 문제 129 수직 2D 크리스탈 hetero-구조 전환 금속 dichalcogenides sulfurization 라디오 주파수 스퍼터 링 영화 전송 트랜지스터
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