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바나듐이 산화물 및 온도 따른 광 모델의 원자 층 증 착
 
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바나듐이 산화물 및 온도 따른 광 모델의 원자 층 증 착

Article DOI: 10.3791/57103-v 11:10 min May 23rd, 2018
May 23rd, 2018

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바나듐이 산화물 (VO2)의 박막 (100-1000 Å)는 사파이어 기판에 원자 층 증 착 (ALD)에 의해 창조 되었다. 이 따라 광학 속성은 VO2의 금속-절연체 전이 통해 특징 이었다. 측정 된 광학 속성에서 모델 VO2의 가변 굴절률을 설명 하기 위해 만들었습니다.

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공학 문제 135 원자 층 증 착 얇은 필름 성장 저온 성장 금속-절연체 전이 광학 특성 광학 굴절률
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