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高周波マグネトロンスパッタ リングによる GdBa2Cu3O7δ/チタン酸ストロンチウム3 (STO) 単結晶基板上 La0.67Sr0.33MnO3準二層フィルム
 
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高周波マグネトロンスパッタ リングによる GdBa2Cu3O7δ/チタン酸ストロンチウム3 (STO) 単結晶基板上 La0.67Sr0.33MnO3準二層フィルム

Article doi: 10.3791/58069
April 12th, 2019

Summary April 12th, 2019

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ここでは、LSMO ナノ粒子を成長するためのプロトコルを提案する、無線周波数 (RF) による単結晶基板 (001) チタン酸ストロンチウム3 (STO) (Gd) BCO 膜のスパッタします。

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