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Cálculo Teórico e Verificação Experimental para Redução de Deslocamento em Camadas Epitaxiais de Germânio com Vazios Semicilíndricos em Silício
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Cálculo Teórico e Verificação Experimental para Redução de Deslocamento em Camadas Epitaxiais de Germânio com Vazios Semicilíndricos em Silício

Article DOI: 10.3791/58897-v • 06:57 min • July 17th, 2020
July 17th, 2020 •
1, 2, 1, 1,3
1Department of Materials Engineering, The University of Tokyo, 2Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 3Department of Materials Science and Engineering, Massachusetts Institute of Technology

Chapters

Summary
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Cálculo teórico e verificação experimental são propostos para uma redução da densidade de deslocamento de rosca (DT) em camadas epitaxiais de germânio com vazios semicilíndricos sobre silício. Cálculos baseados na interação de TDs e superfície via força de imagem, medições de TD e observações de microscópio eletrônico de transmissão de TDs são apresentados.

Tags

Engenharia Edição 161 Fotônica de silício germânio Ge crescimento de cristais crescimento epitaxial seletivo densidade de deslocamento de rosqueamento força de imagem cálculo teórico deposição química de vapor DCV microscópio eletrônico de transmissão MET
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