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マイクロ波光伝導減衰法による半導体中のキャリア ライフ タイム測定
 
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マイクロ波光伝導減衰法による半導体中のキャリア ライフ タイム測定

Article doi: 10.3791/59007
April 18th, 2019

Summary April 18th, 2019

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半導体の重要な物理パラメーターのひとつとして、キャリアの寿命をマイクロ波光伝導減衰法を用いたプロトコル経由で本測定します。

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