यू₂ओ₅ फिल्म की तैयारी के माध्यम से UO₂ प्रत्यक्ष वर्तमान sputtering और लगातार ऑक्सीकरण और परमाणु ऑक्सीजन और परमाणु हाइड्रोजन के साथ कमी से जमाव

यह प्रोटोकॉल अल्ट्रा उच्च वैक्यूम के तहत सीटू में प्राप्त यू₂ओ₅ पतली फिल्मों की तैयारी प्रस्तुत करता है । इस प्रक्रिया में क्रमशः परमाणु ऑक्सीजन और परमाणु हाइड्रोजन के साथ UO₂ फिल्मों का ऑक्सीकरण और कमी शामिल है ।