U₂O₅膜を介して直流スパッタリングと連続酸化による UO₂成膜と酸素原子と水素原子の還元

このプロトコルは、超高真空下で U₂O₅得られた薄膜の場で準備を提示します。プロセスは、それぞれ酸化と UO₂膜の酸素原子と水素原子の還元を行います。