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Charakterisierung von Integrierten optischen Phasenarrays von SiN auf einer Wafer-Scale-Teststation
Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers
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Charakterisierung von Integrierten optischen Phasenarrays von SiN auf einer Wafer-Scale-Teststation

Article DOI: 10.3791/60269-v • 05:57 min • April 1st, 2020
April 1st, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1, 1, 1
1University Grenoble Alpes and CEA, LETI, Minatec Campus

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Hier beschreiben wir den Betrieb einer integrierten photonischen SiN-Schaltung, die optische Phasenarrays enthält. Die Schaltungen werden verwendet, um Laserstrahlen mit geringer Divergenz im Nahen Infrarot auszusenden und sie in zwei Dimensionen zu steuern.

Tags

Engineering Ausgabe 158 Optische Phasenarrays integrierte Photonik SiN Silizium-Photonik Strahllenkung LIDAR zweidimensional einzelne Wellenlänge
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