JoVE Journal
Engineering
Engineering
This content is Open Access.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Hier gepresenteerd is een stapsgewijs protocol voor het realiseren van gas-entrapping membranen (GEMs) van SiO2/ Si wafers met behulp van geïntegreerde circuit microfabricage technologie. Wanneer silica-GEM's worden ondergedompeld in water, wordt het binnendringen van water voorkomen, ondanks de waterminnende samenstelling van silica.