JoVE Journal
Engineering
Engineering
This content is Open Access.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Представлено здесь пошаговый протокол для реализации газовых мембран (GEM) от SiO2/Si пластин с использованием технологии микрофабрикации интегральных схем. Когда кремнезем-ГЭМ погружаются в воду, вторжение воды предотвращается, несмотря на водолюбинный состав кремнезема.