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Présenté ici est un protocole étape pour la réalisation des membranes de piégeage des gaz (GEM) à partir de plaquettes SiO2/Si en utilisant la technologie intégrée de microfabrication de circuits. Lorsque les silice-GEM sont immergés dans l’eau, l’intrusion d’eau est empêchée, malgré la composition épris d’eau de la silice.