JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Vi visar tillverkning av nanohöjd kanaler med integration av ytan akustisk våg aktiveringsanordningar på litium niobat för akustisk nanofluidik via liftoff fotolitografi, nano-djup reaktiv jonetsning, och rumstemperatur plasma ytaktiverad flerskiktsbindning av enkristalllitiumniobat, en process som är lika användbar för bindning av litiumniobat till oxider.