A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
تتنوع معلمات الأنويد لنمو الطبقة العازلة ثنائية أكسيد الألومنيوم من الترانزستورات الرقيقة (TFTs) من أكسيد الزنك لتحديد الآثار على استجابات المعلمة الكهربائية. يتم تطبيق تحليل التباين (ANOVA) على تصميم Plackett-Burman للتجارب (DOE) لتحديد ظروف التصنيع التي تؤدي إلى تحسين أداء الجهاز.