O efeito dos parâmetros de anodização na camada dielétrica do óxido de alumínio dos transistores de filme fino

Os parâmetros de anodização para o crescimento da camada dielétrica de óxido de alumínio de transistores de filme fino de óxido de zinco (TFTs) são variados para determinar os efeitos nas respostas dos parâmetros elétricos. A análise da variância (ANOVA) é aplicada a um projeto Plackett-Burman de experimentos (DOE) para determinar as condições de fabricação que resultam em desempenho otimizado do dispositivo.