Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

Fabricage van Surface Acoustic Wave-apparaten op lithium niobate
 
Click here for the English version

Fabricage van Surface Acoustic Wave-apparaten op lithium niobate

Article DOI: 10.3791/61013-v 07:55 min June 18th, 2020
June 18th, 2020

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Twee fabricagetechnieken, lift-off en natte etsen, worden beschreven in de productie van interdigitale elektrodetransducers op een piëzo-elektrisch substraat, lithium niobate, op grote schaal gebruikt om oppervlakte akoestische golven te genereren nu vinden breed nut in micro-tot nanoschaal vloeistof. De geproduceerde elektroden worden getoond om megahertz te veroorzaken om Rayleigh oppervlakte akoestische golven te bestellen.

Tags

Engineering acoustofluidics oppervlakte akoestische golven lithium niobate interdigitale transducers lift-off natte etsen
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter