Journal
/
/
Fabrication de dispositifs d’ondes acoustiques de surface sur lithium niobate
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate

Fabrication de dispositifs d’ondes acoustiques de surface sur lithium niobate

11,299 Views

07:55 min

June 18, 2020

DOI:

07:55 min
June 18, 2020

28 Views
, ,

Summary

Automatically generated

Deux techniques de fabrication, le décollage et la gravure humide, sont décrites dans la production de transducteurs d’électrodes internumériques sur un substrat piézoélectrique, le niobate de lithium, largement utilisé pour générer des ondes acoustiques de surface qui trouvent maintenant une large utilité dans les fluides micro à nanométriques. Les électrodes produites sont montrées pour induire efficacement les mégahertz commandent des ondes acoustiques de surface de Rayleigh.

Read Article