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Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat
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Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat

Article DOI: 10.3791/61013-v • 07:55 min • June 18th, 2020
June 18th, 2020 •
1, 1, 1
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine, University of California San Diego

Chapters

Summary
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Zwei Herstellungstechniken, Lift-off und Nassätzung, werden bei der Herstellung von interdigitalen Elektrodenwandlern auf einem piezoelektrischen Substrat beschrieben, Lithiumniobat, das weit verbreitet ist, um Oberflächen-Akustikwellen zu erzeugen, die jetzt einen breiten Nutzen in der Mikro- bis nanoskaligen Fluidik finden. Die produzierten Elektroden werden gezeigt, um effizient Megahertz-Ordnung Rayleigh Oberflächen-Akustikwellen zu induzieren.

Tags

Engineering Ausgabe 160 Akustofluidik Oberflächenakustikwellen Lithiumniobat interdigitale Wandler Abheben Nassätzen
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