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ニオブエートリチウムにおける表面音響波装置の作製
 

ニオブエートリチウムにおける表面音響波装置の作製

Article doi: 10.3791/61013
June 18th, 2020

Summary June 18th, 2020

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リフトオフとウェットエッチングの2つの製造技術は、圧電基板上にデジタル間電極トランスデューサを製造する際に記載されているニオバテリチウムは、表面弾性波を生成するために広く使用され、マイクロからナノスケールの流体に幅広い有用性を見いだしています。この装産電極は、メガヘルツオーダーのレイリー表面音響波を効率的に誘導することが示されている。

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