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Fabricación de dispositivos de ondas acústicas de superficie en niobato de litio
 

Fabricación de dispositivos de ondas acústicas de superficie en niobato de litio

Article doi: 10.3791/61013
June 18th, 2020

Summary June 18th, 2020

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Dos técnicas de fabricación, despegue y grabado húmedo, se describen en la producción de transductores de electrodos interdigitales sobre un sustrato piezoeléctrico, niobato de litio, ampliamente utilizado para generar ondas acústicas superficiales que ahora encuentran una amplia utilidad en fluidos micro a nanoescala. Los electrodos producidos se muestran para inducir eficientemente las ondas acústicas superficiales de Rayleigh de orden de megahercios.

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