用于原子化和抗波流体的厚度模式压电器件的制造和特性

介绍了通过锂硝酸锂板电极的直流溅射制造压电厚度模式传感器。此外，通过传感器支架和流体供应系统实现了可靠的操作，通过阻抗分析、激光多普勒振动测量、高速成像和激光散射液滴尺寸分布，可以证明表征。