Изготовление и характеристика режима толщины Piezoelectric устройства для атомизации и acoustofluidics

Описано изготовление пьезоэлектрических преобразователей режима толщины через прямое распыление тока электродов пластины на литиевом ниобате. Кроме того, надежная работа достигается с помощью держателя трансдусеров и системы питания жидкости и характеристика демонстрируется с помощью анализа impedance, лазерной доплеровской виброметрии, высокоскоростной визуализации и распределения размеров капель с помощью лазерного рассеяния.