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다공성 및 고체 실리콘 웨이퍼의 금속 보조 전기 화학 나노 임프린팅
Fiber Optic Distributed Sensors for High-resolution Temperature Field Mapping
Journal (Engineering)
Fiber Optic Distributed Sensors for High-resolution Temperature Field Mapping
Experimental Methods for Investigation of Shape Memory Based Elastocaloric Cooling Processes and Model Validation
Journal (Engineering)
Experimental Methods for Investigation of Shape Memory Based Elastocaloric Cooling Processes and Model Validation
 
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다공성 및 고체 실리콘 웨이퍼의 금속 보조 전기 화학 나노 임프린팅

Article DOI: 10.3791/61040-v • 09:18 min • February 8th, 2022
February 8th, 2022 •
1, 1, 1, 1
1The Polytechnic School, Arizona State University

Chapters

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고체 및 다공성 실리콘 웨이퍼에 20nm 모양 정확도를 가진 3D 마이크로 스케일 피처의 금속 보조 화학 적 각인을 위한 프로토콜이 제시됩니다.

Tags

공학 문제 180 나노 임프린팅 전기 화학 나노 임프린팅 MACE 금속 보조 화학 에칭 실리콘 광장 미세 제조 마이크로 엔지니어링
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