Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content.

النانو الغطاسي α كوارتز أفلام على السيليكون
 
Click here for the English version

النانو الغطاسي α كوارتز أفلام على السيليكون: من المواد إلى أجهزة جديدة

Article DOI: 10.3791/61766-v 11:34 min October 6th, 2020
October 6th, 2020

Chapters

Summary

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

يقدم هذا العمل بروتوكولًا مفصلًا للتكبير المجهري للمواد النانوية α الكوارتز على طبقة تكنولوجيا السيليكون أون عازل (SOI) بدءًا من النمو الإكسي للفيلم الكوارتز مع طريقة طلاء الانخفاض ثم إعادة تخطيط النانو للفيلم الرقيق عبر الطباعة الحجرية النانوية.

Tags

الهندسة، الإصدار 164، الطباعة النانوية لطباعة الحجرية (NIL)، α الكوارتز، الركيزة SOI، الكهروضوئية، microfabrication، الطباعة الحجرية، النقش، cantilever، MEMS
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter