JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
يقدم هذا العمل بروتوكولًا مفصلًا للتكبير المجهري للمواد النانوية α الكوارتز على طبقة تكنولوجيا السيليكون أون عازل (SOI) بدءًا من النمو الإكسي للفيلم الكوارتز مع طريقة طلاء الانخفاض ثم إعادة تخطيط النانو للفيلم الرقيق عبر الطباعة الحجرية النانوية.