JoVE Journal
Engineering
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Detta arbete presenterar ett detaljerat protokoll för mikrotillverkning av nanostrukturerad α-kvarts cantilever på en Silicon-On-Insulator (SOI) teknik substrat från epitaxial tillväxt av kvartsfilm med dip beläggning metod och sedan nanostructuration av tunnfilmen via nanoimprint litografi.