Kvantitativ atomstedsanalyse av funksjonelle dopanter/punktfeil i krystallinske materialer ved elektronkanal-forbedret mikroanalyse

Vi gir en generell oversikt over kvantitative mikroanalysemetoder for å estimere stedets belegg av urenheter og deres kjemiske tilstander ved å dra nytte av elektronkanalfenomener under hendelseselektronstråle-gyngeforhold, som pålitelig trekker ut informasjon fra minoritetsarter, lyselementer, oksygenstillinger og andre punkt / linje / planære feil.