Kvantitativ atomanalyse af funktionelle dopants/punktfejl i krystallinske materialer ved elektronkanaliseringsforbedret mikroanalyse

Vi giver en generel oversigt over kvantitative mikroanalysemetoder til vurdering af urenheders og deres kemiske tilstandes belægninger ved at drage fordel af elektronkanaleringsfænomener under hændelseselektronstråle-rokkende forhold, som pålideligt udtrækker oplysninger fra minoritetsarter, lyselementer, iltstillinger og andre punkt / linje / planar defekter.